- 1、本文档共3页,可阅读全部内容。
- 2、原创力文档(book118)网站文档一经付费(服务费),不意味着购买了该文档的版权,仅供个人/单位学习、研究之用,不得用于商业用途,未经授权,严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等,侵权必究。
- 3、本站所有内容均由合作方或网友上传,本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺!文档内容仅供研究参考,付费前请自行鉴别。如您付费,意味着您自己接受本站规则且自行承担风险,本站不退款、不进行额外附加服务;查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档,您可以点击 这里二次下载。
- 4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等,请点击“版权申诉”(推荐),也可以打举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档,如果想要下载,成为VIP会员后,下载免费。
- 6、成为VIP后,下载本文档将扣除1次下载权益。下载后,不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后,您将拥有八大权益,权益包括:VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传,每下载1次, 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等,对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
一般工业技术
《计量与铡试技术 011年第38卷第2期
A1Sb多晶薄膜物相结构的实验研究
ExperimentalStudyonPhaseandStructureofAISbPolycrystalline Film
夏庚培 冯 良桓 武莉莉 贺剑雄
(四川大学太阳能材料与器件研究所 ,成都,610064;国家光伏产品质量监督检验中心,成都,610200)
摘 要:综合真空共蒸发和磁控溅射的优点,发展了双靶共溅射技术用于制备新型光伏材料AISb多晶薄膜,采用x射线衍射、x射线荧光光谱、俄歇电
子能谱等测试手段结合的分析方法,系统研究了薄膜组分、衬底温度、氧杂质等因素对薄膜物相结构的影响。结果表明,薄膜中m、sb原子接近 1:1
时,不会出现 Al或 sb的结晶峰;衬底温度较高的情况下,形成了A1Sb金属间化合物为主的多晶薄膜,并随着衬底温度的升高其晶粒得以长大;氧严重
影响了A1Sb的生成和结晶。
关键词:A1Sb多晶薄膜;物相结构 ;共溅射技术;金属间化合物
1 引言 45。由图中可以看 出,富 的样 品随着 组分的增加
AISb是具有闪锌矿结构的Ⅲ一V族化合物半导体, 出现 的衍射峰,富Sb的样品也存在类似现象而出现
是一种优越 的新型光电转换材料。 sb峰,只有当组分 比接近50:50才会出现单一AISb多晶相。
2 实验与测试 这种现象与相图规律符合得很好,由AISb的相图我们知道,
2.1 A1Sb薄膜的制备 固相只有3种,即AISb、AI和 sb的结晶相。Al、Sb共熔体为
AISb薄膜采用JGP一450型磁控溅射沉积系统制备。 非化学计量比时,经准平衡过程冷凝下来后将出现 或Sb
靶和Sb靶的纯度均为99.999%。系统本底真空度为 的结晶相。因此,在薄膜制备过程中,只有控制 和Sb的
8×10—4pa,溅射 气气压:0.5Pa;A1靶溅射电压:400V,溅射 组分比接近 1:1,才能得到单一结晶相的A1Sb薄膜。
电流:0.2A~0.3A;Sb靶溅射 电压:420V,溅射电流:0.12A一
0.15A,溅射时间:30rain。其设备装置示意如图1所示。
图2 不同Al、Sb比的Al—sb薄膜的 XRD图谮
3.2 衬底温度的影响
图 1 共溅射沉积装置示惫图 和 sb在低温下很难形成半导体,这在前面共蒸
2.2 测试 发和几何靶溅射中已经得到证实。为了使 和Sb之间
薄膜结构采用丹东仪器厂生产的Y一4Q型x射线 形成共价键,必需给其提供足够的能量。退火处理是一
衍射仪测量 ,薄膜成分用 日本理学公 司生产的 ZSX 个有效的途径,而在共溅射制备 AISb薄膜过程中,进行
primusII荧光光谱分析仪测量,薄膜深度数据采用PHI一 原位退火是一项关键的技术。原位退火指在薄膜生长过
650俄歇电子能谱仪测量。 程中使衬底保持一定的温度,直到沉积过程结束。它不
3 分析与讨论 仅有利于薄膜应力的释放,同时可以促进薄膜的生长,形
3.1 组分的影响 成较大的晶粒,有利于提高薄膜的载流子迁移率。
实验中发现共溅射制备的A1Sb薄膜,其结构与A1/, 共溅射制备过程中,A1Sb薄膜的形成主要经历了这
sb组分比密切相关 ,图2给出了不同AI/Sb组分比的薄 样几个过程:溅射原子在衬底上的吸附(或脱附)及沉积,
膜的XRD衍射图谱 ,其中a为45:55、b为50:50、C为55: 组分原子在衬
您可能关注的文档
- (0~100)mm数显千分尺示值误差测量结果的不确定度评定.pdf
- (6~15)m在线石油管测长系统校准方法探究.pdf
- (数显千分尺)校对量杆测量结果的不确定度评定.pdf
- “十二五”我国将推动工业节能减排迈上新台阶.pdf
- “望闻问切处”,五措并举把脉企业能源计量状况.pdf
- △/y0-11变压器单相负载计A量原理的分析.pdf
- 0.1级压力变送器示值误差测量不确定度评定.pdf
- 0.02级标准器检定0.05级压力计的可行性探讨.pdf
- 0.3级测力仪标准装置的不确定度评定.pdf
- 0.4级(0~60)Mpa精密压力表测量不确定度分析.pdf
- 2024年江西省寻乌县九上数学开学复习检测模拟试题【含答案】.doc
- 2024年江西省省宜春市袁州区数学九上开学学业水平测试模拟试题【含答案】.doc
- 《GB/T 44275.2-2024工业自动化系统与集成 开放技术字典及其在主数据中的应用 第2部分:术语》.pdf
- 中国国家标准 GB/T 44275.2-2024工业自动化系统与集成 开放技术字典及其在主数据中的应用 第2部分:术语.pdf
- GB/T 44285.1-2024卡及身份识别安全设备 通过移动设备进行身份管理的构件 第1部分:移动电子身份系统的通用系统架构.pdf
- 《GB/T 44285.1-2024卡及身份识别安全设备 通过移动设备进行身份管理的构件 第1部分:移动电子身份系统的通用系统架构》.pdf
- 中国国家标准 GB/T 44285.1-2024卡及身份识别安全设备 通过移动设备进行身份管理的构件 第1部分:移动电子身份系统的通用系统架构.pdf
- GB/T 44275.11-2024工业自动化系统与集成 开放技术字典及其在主数据中的应用 第11部分:术语制定指南.pdf
- 中国国家标准 GB/T 44275.11-2024工业自动化系统与集成 开放技术字典及其在主数据中的应用 第11部分:术语制定指南.pdf
- 《GB/T 44275.11-2024工业自动化系统与集成 开放技术字典及其在主数据中的应用 第11部分:术语制定指南》.pdf
文档评论(0)