基于80m测量装置的双频激光干涉仪系统精度及影响因素分析.pdfVIP

冷玉国等：基 80m铡量装i的双频激光干涉仪系统精度及影响因素分析 基于80m测量装置的双频激光干涉仪系统精度及影响因素分析 AccuracyandInfluencingFactorsabouttheDual—f‘requency LaserInterferometerSystemBasedon80mMeasurementDevice 冷玉 国 陶 磊 徐 健 (青海省计量检定测试所 ，青海 西宁 810001) 摘 要：双频激光干涉仪是一种以波长为标准对被测长度进行度量的仪器，经常作为长度测量标准使用，但影响其系统精度的误差因素很多。本文基 于80m大长度测量装置对双频激光干涉仪系统精度以及影响因素进行分析。 关键词：测量装置；双频激光干涉仪；系统精度；影响因素 1 引言 精度和重复性的各误差因素的进行具体分析。 80m测量装置是 由中国计量科学研究院长度计量科 (1)激光波长 学与精密机械测量技术研究所正在筹建中的大尺寸计量 激光干涉系统光源的频率稳定性决定了波长精度和 仪器的实验室基准，建成后此基准可以比较完整地解决 重复性。激光波长的精度是影响激光测量系统精度的因 标准钢卷尺、基线尺、激光干涉仪、测距仪等的长距离校 素，而波长的稳定性是影响系统重复性的因素。 准问题以及激光跟踪仪、经纬仪组合系统等便携式坐标 对于干涉系统来说 ，当两测量光路之间有位移时，就 测量仪器的实验室校准 问题。本文 旨在 以80m大长度 会有干涉条纹产生，每一条纹相当于激光波长的若干分 测量装置为基础 ，来对影响双频激光干涉仪系统精度的 之一。当波长改变时，条纹数发生变化，体现出的是被测 各种误差因素进行分析 。 距离发生变化，但实际上没有位移产生，这样就产生测量 2 系统精度及影响因素 误差。 表 1 误差来源 激光波长精度和稳定性都是变值误差，也就是说它 们都是被测距离的函数。对 肿 公司的激光干涉系统其 激光光源波长精度和波长稳定性都用相同的表达形式， 这些值都是在真空环境下给出的。此系统所用的激光头 为5519A，激光头电缆为 10882B。在标准情况下，激光头 的波长精度为 ±0．1 m，长期波长的稳定性(生命周期 内)为±0．02wn／m，短期波长的稳定性 (1小时内)波长的 稳定性为 ±0．002wn／m。 (2)电气误差 这里的 80m大长度测量装置 ，采用的测量标准为 在干涉仪系统中，电气误差源于光学件 的测量分辨 Agilent5530型 (原 HP公司)的长距离双频激光干涉仪， 率。干涉系统的基本分辨率是激光波长的一半 ，即a／2 线性精度能达到0．4PPM，测量分辨率为 0．1z／m。由于此 (采用角耦反射镜)，经 电子或光学细分后，其分辨率可超 测量装置采用的是三路激光干涉仪同时测长的方法，可 出a／2。在惠普公司生产的双频激光干涉系统中。电气 以实时测量长导轨的直线度并补偿阿贝误差，使得在工 误差等于最小分辩计数的不确定度 ，即电气误差等于测 作台的任意位置上都能达