TiO_2晶型对FeTiTaO_6陶瓷介电特性的影响.pdfVIP

第40 卷 增刊1 稀有金属材料与工程 Vol.40, Suppl.1 2011 年 6 月 RARE METAL MATERIALS AND ENGINEERING June 2011 TiO2 晶型对 FeTiTaO6 陶瓷介电特性的影响 史 云，侯育冬，葛海燕，朱满康，严 辉 (北京工业大学，北京 100124) 摘 要：分别选取纯金红石结构和金红石与锐钛矿混合结构的TiO2 为钛源，通过传统固相法制备FeTiTaO6 陶瓷。利用 X 射线衍射、扫描电子显微镜等手段对比表征了 2 种钛源条件下合成 FeTiTaO6 的相结构和微观形貌，并测试了二者的 介温谱。结果显示，以纯金红石 TiO2 为原料合成的 FeTiTaO6 陶瓷有明显的介电弛豫特性，而以含有锐钛矿的 TiO2 为 原料合成的FeTiTaO6 陶瓷没有介电峰出现。原因是由于在煅烧阶段不同晶型TiO2 之间发生结构转变，使制得的陶瓷粉 体反应活性不同，进而影响陶瓷烧结的热力学进程，并导致陶瓷的介电性能出现差异。 关键词：TiO2 ；FeTiTaO6 陶瓷；介电特性 中图法分类号：TM221 文献标识码：A 文章编号：1002-185X(2011)S1-375-04 弛豫铁电体以弥散相变和频率色散为特征，通常 工艺成功制备出结构致密，具有高介电常数和典型介 具有大的介电常数和大的电致伸缩特性[1,2] ，在电子信 电弛豫特性的FeTiTaO6 陶瓷，获得了文献报道的最优 息领域有重要的应用。对于弛豫铁电体的研究目前多 性能[10] 。众所周知，原料的晶型对所制备的陶瓷微观 集中在钙钛矿结构的铅基材料中，例如铌镁酸铅 结构及电学性能有重要的影响[11] ，为了进一步深入理 （PMN ）和铌锌酸铅（PZN ）等[3-5] 。尽管这些材料电 解FeTiTaO6 陶瓷结构演化与原料晶型的关系，选取两 学性能优异，但是由于钙钛矿结构的铁电材料与半导 种不同晶型的TiO2 作为钛源，在相同的工艺制度下制 体衬底（尤其是硅衬底）晶格不匹配，导致二者不能 备陶瓷样品，通过结构测试与性能对比，分析原料晶 有效结合，从而严重限制钙钛矿型弛豫铁电体在半导 型对陶瓷制备与样品性能的作用机理。 体微电子器件领域的商业应用。此外，随着人们对环 1 实 验 境保护和经济可持续发展的关注，可替代重金属铅的 新型无铅弛豫铁电材料的研制迫在眉睫。新近研究的 以分析纯的Ta O 、FeC O ·H O 以及甲乙2 个厂 2 5 2 4 2 非钙钛矿型无铅弛豫铁电体由于其结构与半导体材料 家生产的 TiO2 为原料，采用相同的工艺制度制备 相同或相近，能达到更好的晶格匹配[6,7] ，因而在半导 FeTiTaO6 陶瓷。首先将原料按照化学计量比称量，以 体微电子器件领域展现出良好的应用前景。基于此， 乙醇为介质球磨24 h 。将球磨好的浆料置于烘箱中， 对于非钙钛矿型无铅弛豫铁电材料的研究已成为当前 在 120 ℃的温度下干燥以去除乙醇。然后将干燥后的 电子信息材料领域的前沿课题之一。 混合物置于氧化铝坩埚中，于 1100 ℃温度煅烧2 h 。 金红石结构的TiO2 是一种宽带隙（3.05 eV ）半导 煅烧后的粉末掺入PVA ，压制成圆片状样品。将圆片 体材料，沿 c 轴具有大的静态介电常数（165-250）， 样品置于电阻炉中烧结成瓷，烧结温度为 1100