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绪论 * ⑧? 用ZnO、AlN等薄膜制成的声表面波滤波器。 ⑨? 磁记录薄膜与薄膜磁头 高质量和录象的磁性材料薄膜录音带与录象带； 计算机数据存储的CoCrTa、CoCrNi等的薄膜软盘和硬盘； 垂直磁记录中FeSiAl薄膜磁头等。 ⑩?静电复印鼓用Se-Te、SeTeAs合金薄膜及非晶硅薄膜。 绪论 * 铁电存储器 绪论 * 第一堂课主要内容 课程情况介绍 课程考核方式 薄膜材料的定义 薄膜技术的发展 课程教学内容 绪论 * 淀积法 渗入法 化合法、扩散法、离子注入法 气相法 液相法 化学镀、电镀、Sol-Gel、MOD、液相外延、水热法、喷雾热解、喷雾水解、LB膜 PVD CVD 常压CVD、低压CVD、 金属有机物CVD、 等离子体CVD、 光CVD、热丝CVD 真空蒸发 Evaperation 溅射 Sputtering 离子镀 Ion plating 薄膜制备方法的分类 绪论 * 第一章 真空技术基础 第二章 薄膜的物理气相沉积（I）- 蒸发法 第三章 薄膜的物理气相沉积（II）－－溅射法及 其他PVD方法 第四章 薄膜的化学气相沉积 第五章 化学溶液沉积法制备薄膜 第六章 薄膜生长过程和薄膜结构 第七章 薄膜材料的表征方法 第八章 薄膜材料及其应用 课程教学内容 绪论 *