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一般工业技术
维普资讯
第 3卷第 5期 基础理论研 究 Vo1．3 No．5
2006年 10月 BasicResearch October2006
纳米多层膜的硬度研究进展
刘宏玉 ． 吴开明
(武汉科技大学理学院， 湖北 武汉 430081)
摘 要：由两种不同材料交替生长而成的纳米多层膜 ，其硬度 出现增强现象，在调制周期一定范围
内出现极大值。这一现象有理论研究意义和实际应用价值。综合评述 了硬度增强理论和应用的研
究结果。展望 了未来的研究发展方向。
关键词 ：纳米多层膜 ：超晶格 ：硬度增强
ResearchingProgressinHardnessofNanoscaleM ultilayerFilms
LIU Hong—yu， WU Kai—ming
(SchoolofScience，WuhanUniversityofScienceandTechnology，Wuhan 430081，China)
Abstract：Hardnessenhancementofnanoscalemuhilayerfilmscomposedoftwodifferentmaterialsalternatingnanoseale
layersisatitsmaximum atspecialrangeofmodulation periods．Ithaspotentialpracticalapplicationsandtheoretical
significance．Theresearehresultsoftheoryabouthardnessenhancementandapplicationsarereviewed and thefuture
．
researchdirectionsareoutlooked．
Keywords：nanoscalemultiplayerfilms；superlattice；hardnessenhancement
中图分类号：TB303 文献标识码 ：A 文章编号：1812—1918(2006)05—0004—05
0 引言 (相邻两层厚度之和)及单层厚度 比(某一单层厚
度与调制周期之比)达到一定数值时，硬度会超出
自上个世纪 70年代 中期第一个微米级多层 按照单层组元混合法则算出的硬度数值 ．有些会
保护膜 TiC／TiCNfFiN出现以来l1l，多层膜尺寸已达 出现大于 40GPa的超硬现象。在硬度随调制周期
纳米级。由两种不同纳米级尺寸的单层材料交替 A(或单层厚度比)的变化 曲线中。往往会出现硬度
生长而成的纳米多层膜 (又称超晶格薄膜121)，由于 极大值 。典型的例子如HelmerssonI采用反应磁控
组成材料的结构、性能以及各层间复杂的界面情 溅射制备的单晶TiN／VN超 晶格 ．显微硬度 H从
况，使其在力学、光学、电学、磁学等方面显示出独 调制周期 A=0的2035±280K mm 增至A=5．2nm
特的性质 。硬度增强现象是其奇特的性质之一，具 的最大值 5560±1000Kg／mm ；
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