纳米金属多层膜的微结构热稳定性研究.pdfVIP

第6卷第 1期 综 述 V01．6 No．1 2009年 2月 Summarization February 2009 纳米金属多层膜的微结构热稳定性研究 沈志强， 沈 耀， 蔡 殉 (上海交通大学上海市激光制造与材料改性重点实验室， 上海 2002401 摘 要：介绍了纳米金属多层膜的微结构热稳定性的实验和相关的理论基础及模拟计算，探讨 了 实验及模拟的发展前景，综述 了纳米金属多层膜的微结构热稳定性研究的现状和发展趋势。 关键词 ：纳米金属多层膜 ；微结构热稳定性；模拟 ResearchonThermalStabilityofNano-multilayered ThinM etallicFilm M icr0structure SHENZhi-qiang， SHENYao， CAIXun (ShanghaikeyLaboratoryofMaterialsLaserProcessingandModification，ShanghaiJiaoTong University， Shanghai 200240， China) Abstract：Research on thermalstabilityofthenano—muhilayered metallicfilm．Microstructureisreviewed and the criticalissuesforfuturestudyarediscussed．Threeaspectsofpreviousresearcharereviewed：(1)experiment，(2)theory ofrelateddynamicsandthermodynamics，(3)simulation． Keywor~ ：nano-muhilayeredmetallicfilms；thermalstabilityofmicrostructure；simulation 中图分类号：0484．1 文献标识码 ：A 文章编号：1812—1918(2009)O1—0064—08 0 引言 坏了多层膜的交替层状结构 。本文主要讨论不互 溶多层膜微观结构的稳定性。 近年来，多层膜已在微电子、光 电及磁性记录 等技术中得到了广泛的应用。与传统块体复合材 1 纳米金属多层膜的微结构热稳定性实验 料相 比，纳米多层膜具有迥异的力学[1、光 、电、磁 性能l2】。一般情况下 ，在集成电路 、芯片制造工业 1．】微结构热稳定性实验 中，纳米金属多层膜常处于偏离常温的苛刻工作 有关纳米金属多层膜微结构热稳定性 的 环境中，因此，延长和预测多层膜的使用寿命对纳 实验主要研究了热沟槽引发 的层 内断裂机制 米金属多层膜的微结构热稳定性的研究显得尤为 及其影响因素 。 重要。 JosellD等人}4J发现较高温度下在 Co／Cu、 纳米金属多层膜处于 自由能较高的亚稳态， Fe／Cu多 层 膜 内的三 叉 点 产 生 了热 沟 槽 有向低能量稳定结构演化的趋势。一般说来，由于 (thermalgrooving)现象 ，并很快导致层 内脱 离 化学能、界面能和界面弹性应力的驱动，发生两相