溶胶-凝胶法制备ZnO薄膜及其表征.pdfVIP

维普资讯 第4卷第3期 纳米加工工艺 Vo1．4 No．3 2007年 6月 Nano-processingTechnique June 2007 溶胶一凝胶法制备ZnO薄膜及其表征 潘吉浪， 尹荔松， 高松华， 向成承， 李 婷， 闻立时 (中南大学物理科学与技术学院， 湖南 长沙 410083) 摘 要：用溶胶一凝胶法在普通玻璃表面制备 了ZnO薄膜，并通过XRD、SEM、uV—VIS、DSC—TGA 等测试手段对ZnO薄膜进行了表征。研究表明：溶胶一凝胶法制备的ZnO薄膜透明，薄膜表面均匀 分布着片状ZnO晶粒；随着退火温度的升高，ZnO晶粒在 17～30rim范围内逐渐增大。 关键词：ZnO薄膜；溶胶一凝胶；晶粒尺寸 Preparation ofZnO ThinFilm bySol-gelM ethod andItsCharacterization PANJi-lang， YIN Li-song， GAOSong—hua， XIANG Cheng-cheng， LITing， WEN Li—shi (SchoolofPhysicsScienceandTechnology，CentralSouthUniversity，Changsha 410083，China) Abstract：ZnO thinfilmsdepositedonglasssubstratebysol-gelmethodwerecharacterizedbyusingXRD，SEM，UV— VISandDSC—TGA．Theresearchresultsshow thattheZnO filmspreparedbysol-gelaretransparent，andconsistof well—dispersedlaminated ZnO crystals．With thetemperatureincreasing。thegrain sizeofZnO increasesfrom 17 to 3Onot． Keywords：ZnO thinfilms；sol—gel；grainsize 中图分类号：0641．3。TB43 文献标识码 ：A 文章编号：1812—1918(2007)03—0038—03 0 引言 1 ZnO薄膜的制备 ZnO作为一种用途广泛的传统材料具有独特 在 电子 天平 上 准 确 称 取 一 定 量 的 Zn 的物理化学性能，如非迁移性 、荧光性 、压电性 、光 (CH，CO0)·2HO，溶于足量的异丙醇中，加入与 吸收和散射紫外光等，因而被广泛应用于变阻器 、 醋酸锌等摩尔的乙醇胺，在催化剂冰醋酸的作用 气体敏感材料 、透明导电材料 、荧光体 、高效催化 下，于60℃水浴中充分搅拌，数小时后即得到性能 剂和光催化剂it以及建材等重要领域。本文以zn 稳定、无色透明的ZnO溶胶，溶胶静置陈化24h (CHCO0)·2HO为原料，采用溶胶一凝胶法f41在普 后用于镀膜。将洁净的玻璃片(25．4mmx76，2mil1) 通玻璃上制备 了ZnO薄膜，并利用XRD、SEM、 垂直放人 ZnO溶胶中，以6cndmin的速度匀速稳 UV—VIS、DSC～TGA等测试手段对ZnO薄膜进行 定地提拉基片，每提拉一层，立即放入80℃的恒温 了表征。 干燥箱中干燥 10rain，取出自然冷却后 ，再重复上 述步骤