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基于WinCC的单晶硅提拉生长系统应用研究.pdf
第 2 卷第 2 期 上 海 电 气 技 术 Vol . 2 No . 2
2009 年 6 月 J OU RN AL O F SHAN GHA I EL EC TR IC T EC HN OL O GY J un . 2009
( )
文章编号 : 1674540X 2009 0 103206
基于 Win CC 的单晶硅提拉生长系统应用研究
张 凯
(北京航空航天大学 ,北京 100083)
摘 要 : 随着计算机技术的飞速发展 ,越来越多的由通用型计算机和工控组态软件产品组成的系
统被应用于工业等领域的关键系统中。论述了西门子组态软件 SIMA T IC WinCC 在单晶硅提拉生产
系统中的应用 。重点介绍了以 WinCC 为平台的上位机监控程序的开发过程 ,包括整个系统的人机界
面组态 、实时状态监测 、数据采集处理及归档 、报警记录 、用户及报表管理等 。生产现场的反馈信息表
明 ,该系统界面友好 、操作简便可靠 ,非常适合在单晶硅提拉生长行业中使用 。
关键词 : 单晶硅 ;提拉 ;Win CC ; 晶体生长 ;组态
中图分类号 : TP 278 文献标识码 : A
Application Re se arch for the Czochral ski Cry st alGrowth
Sy st em of Si on WinCC Configuration Software
Z H A N G K ai
(Bei Hang U niver sit y , Beij ing 100083 , China)
Ab stract : A s t he develop ment of co mp ut er t echnolo gy , more and more co nt rol sy st em s including
general co mp ut er and configuration soft ware are app lied in t he key indu st ry fiel d . The u sage of
SIMA TIC Win CC , t he configuration soft ware of Siemen s in t he p ro duction of singlecry st al Si wit h
Czochral ski met ho d . A nd t he emp ha se s i s t he de sign of t he co mp ut er p ro gram wit h Win CC , including
t he manmachine int erf ace ( MM I ) , realtime st at e monitor , dat a collecting and archive s , alar m
lo ggin g , u ser and rep ort admini st rator , et c . Accor ding to t he f eedback of t he u ser s , t hi s sy st
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