声表面波换能器激励的有限元仿真.pdfVIP

第28卷第5期 声 学 技 术 VO1．28，NO．5 2009年 10月 TechnicalAcoustics 0ct一2009 声表面波换能器激励的有限元仿真 张永刚 (安徽理工大学 电气与信息工程学院，安徽淮南 232001) 摘要：采用有限元法分析了声表面波换能器电极上的激励问题。从声场波动方程、麦克斯韦方程以及压电本构方程 出发，利用哈密顿原理，推导了在压电介质中声表面波有限元方程，然后采用Newmark法对有限元方程进行时域变 换。分析了换能器电极上的静态电荷分布和动态电荷分布。对压电介质中声表面波振动振幅进行计算并分析了质点 振动振幅随深度的变化情况。 关键词：声表面波；有限元法；换能器；电荷分布 中图分类号：TN912 文献标识码：A 文章编号：1000—3630(2009)．05—0678．04 DOI编码：10．3969~．issnl000-3630．2009．05．024 FEM simulationofSAW transducerexcitation ZHANG Yong—gang (SchoolofElectricalandInformationEngineering，AnhuiUniversityofScienceandTechnology，Huainan232001，Anhui，China) Abstract：Therelationshipbetweensurfaceacousticwave(SAW)andvoltageexcitationisanalyzedwiththefinite elementmethod(FEM)．Startingfromtheacousticfieldwaveequations，Maxwellequationsandpiezoelectricconstitu— tiveequations，thefniiteelementequationsforinterdigitaltransducersareestablishedwim Hamiltonprinciple，and thenrtansformedintotime—domainwithNewmarkmethod．Thestaticchargedistributionandthedynamicchargedis— tributiononelectrodesareanalyzed．TheSAW vibrationamplitudeoftheinterdigitalrtansducersiscalculatedandits variationwithdepthisalsoanalyzed． Keywords：surfaceacousticwave(SAW)；finiteelementmethod(FEM)；rtansducers；chargedistribution 传输特性来达到信号处理的目的 。 1 引 言 对声表面波换能器的研究一般可分为两种类 型：一类是根据特定的近似模型求得相对简单的计 声表面波技术是上世纪 60年代后期发展起来 算结果，这类方法的缺点是结果不够精确。另一类 的一门新兴技术。近年来，随着通信技术的发展， 是依据波动方程满足特定边界条件求得声场的确 特别是半导体工艺水平的提高，其应用领域不断扩 切解，其中有限元法和有限差分法是其常用方法。 大：从卫星通信、雷达制导、无线遥控、广播电视