基于CV,IV,QV特性的铁电电容新模型.pdfVIP

第 26 卷 　第 5 期 半 　导 　体 　学 　报 Vol . 26 　No . 5 2005 年 5 月 　　 C H IN ESE J OU RNAL O F SEM ICONDU C TOR S 　　May ,2005 基于 CV , IV , QV 特性的铁电电容新模型 陈小明　汤庭鳌 ( 复旦大学微电子学系 A SIC 和系统国家重点实验室 , 上海 　200433) ( ) ( 摘要 : 推导出描述铁电电容电气特性的新模型. 铁电电容可以等效为开关电容 电畴电容 和非开关电容 普通线 ) 性电容 的并联 ,而电畴电容可以看作是由电偶极子组成的铁电材料 、上电极和下电极组成. 根据实验测试的铁电 电容的 CV 特性 ,选定电偶极子矫顽电压的概率密度函数为 t 分布 ,从而推导出只用 6 个参数描述的铁电电容的 CV , IV 和 QV 关系式 ,根据这些关系式仿真的结果与实验结果基本吻合. 关键词 : 铁电电容 ; 模型 ; CV 特性 ; 电偶极子 ; 概率密度函数 EEACC : 0240Z ; 2860 F 中图分类号 : TN 304 　　　文献标识码 : A 　　　文章编号 : 02534 177 (2005) 率密度函数建立了铁电电容的模型[ 15 ] . Bartic 也提 1 　引言 出了类似的模型 ,且具有较快的速度[ 16 ] . 这两种模 型的共同缺陷是需要记忆极化的转向点. Farag 基 ( ) 铁电存储器 FeRA M 由于具有不挥发性 、低的 于铁电体是电偶极子的集合 ,并考虑电偶极子之间 读写电压 、低功耗的特点 , 因此是航空、移动电子产 的相互作用 ,用蒙特卡罗方法模拟了铁电电容的电 品中 EEPROM 和 FL A SH 的潜在替代者[ 1 ] . 国际 滞回线 ,但只有仿真结果[ 17 ] . Pot t er 基于铁 电体是 上知名的半导体企业如三星 、富士通 、德州仪器 、 畴的集合 ,而畴又是电偶极子的集合 ,根据畴壁的势 Ramt ron 都在进行铁电存储器的商业开发[2 ] . 也正 能来仿真铁 电电容 的 电滞 回线 , 也 只有仿真结 是由于铁电存储器的这些特点及其广阔的商业应用 果[ 18 ] . 此外 ,还有许多人基于 Prei sach 模型来研究 前景 , 200 1 年 的 I TR S ( Int er national Technolo gy 铁电电容的模型[ 19～2 1 ] ,要么得到与 Miller 模型类似 Roadmap for Semicon ductor s) 收录了 FeRA M 发展 的模型 ,要么模型只有仿真结果 ,没有实验结果. 指南[ 3 ] . 本文基于铁电体是电偶极子的集合 ,根据测试 铁电存储器的设计需要铁电电容模型 , 目前较 的铁电电容的 CV 特性 ,选定电偶极子矫顽电压的 为实用的铁电电容模型分为两类 :Miller 模型[4 ,5 ] 及 概率密度函数 ,从而推导出了铁电电容