Al／Al2O3陶瓷接合基板的制备及性能研究.pdfVIP

维普资讯 第 17卷 第 4期 无 机 材 料 学 报 1．17．No．4 2002年 7月 JournalofInorganicM aterials Ju1．．2002 文章编号：1000—324X(2002)04—0731—06 A1／A1203陶瓷接合基板的制备及性能研究 彭 榕，周和平 ，宁晓山，徐 伟 ，林渊博 (清华大学材料科学与工程 系新型陶瓷与精细工 艺国家重点实验 室，北京 100084) 摘 要 ：在 675~825。C 、氮气气氛下，使用石墨模具压铸的方法制备 出A1／A12Oa电子陶瓷 基板 ，利用力学拉伸试验机测试 了Al和 Al2O3的结合强度，界面抗拉强度 15．94MPa，使用 金相显微镜 、 SEM 等微观分析仪器研 究了其界面 的微观结构． 关 键 词 ： 敷接 ；剥离强度 ；A1／A12Oa电子陶瓷基板 中图分类号 ：TQ 174 文献标识码 ：A 1 引言