K（Ta,Nb）O3薄膜中钙钛矿相的形成机理研究.pdfVIP

维普资讯 第 1】卷 第 4期 无 机 材 料 学 报 V0l_11．No．4 1996年 12月 JournalofInorganicM atcrials Dcc．．19口6 K(Ta，Nb)O3薄膜中钙钛矿相的形成机理研究 包一 蓥 华 ／d研究了工艺参数和村底材料对K(，Nb)O。薄膜生长的影响，研究表明钙钛矿相由 焦绿石 中间相转变而成。热处理时低速升温同样可以获得纯钙钛矿相的K(Ta，Nb)O 薄 膜 ．分析了 (100)SrTiO ，(1oO)MgO单 晶村底上钙钛矿相 的形成机理，并解释 了在硅单 晶 和石英玻璃衬底上纯钙钛矿结构 的K(Ta，Nb)O 薄膜不易形成 的原固． 藏顾技一材摘； + 十 关键词x(n，m)o3 堡 塑：盛垫垩