MF(I)S结构设计对硅基铁电薄膜系统C—V特性的影响.pdfVIP

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MF(I)S结构设计对硅基铁电薄膜系统C—V特性的影响.pdf

无机材料学报

维普资讯 第 14卷 第 4期 无 机 材 料 学 报 Vol 14 No 4 1999年 8月 JournalofInorganicIvIaterials Aug ,1999 MF(I)S结构设计对硅基铁 电薄膜系统 C—V特性的影响 f . 、 , )【l1 干 军 董晓敏 赵建洪 b 、 周文利 谢基凡 郑远开 刘 刚 厂— 工大学电子科学与技术系 武汉 430074) , 丁 。 、0

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