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维普资讯 第 l】卷 第 3期 无 机 材 料 学 报 、，01．11．NO．3 1996年 9月 JournalofInorganicM aterials Sept，]996 Sol-Gel法合成 TiO2纳米粉末和薄膜 鱼 + 厘壅塞+ 邝安祥+ 黄 桂 玉 + f湖 北 大学压 电陶瓷技术研 究所 武汉 4300621 (西安 交通 大学 电子 材料研 究室 西安 7100491 {；L} 、 。 摘 要 fLJ 用 So1．Gel法成功地台成 了TiOz纳米粉末和薄膜 研究 了工艺参数如热处理温度 ， 保温时 间等 因素对材 料结构和物性 的影响，粉末 的平 均粒