TiO2／SiO2复合薄膜的晶化特征和结构转变研究.pdfVIP

维普资讯 第 l3卷 第 3期 无 机 材 料 学 报 Vol 13．No．3 1998年 6月 JournalofInorganicMaterials Jun，1998 Ti02／Si02复合薄膜的晶化特征和结构转变研究 焦继 堡匿莹 姚 熹 ，， f西安交通大学电子材料研究所710049西安) 、／ 对TiO2／sio2复合薄膜的晶化特征进行了分析，研究表明，随着Ti02含量的增加．其晶 化温度降低 而由锐钛矿相完全转变为金红石相的速度减慢 SiO2的析晶温度也随着TiO2含 量的增加而降低，即TIO2具有诱导 SiO2析晶的作用．锐钛矿晶粒尺寸的增加幅度随着 TiO2 含量的降低和热处理温度的升高而增大 其晶粒尺寸的大小与热处理时间的平方根成正比．认 为 由于TiO2含量的不同．造成薄膜 中由锐钛矿相完全转变成金红石相的速度差异