氮化铝薄膜织构的极图法研究.pdfVIP

第 18卷 第 2期 无 机 材 料 学 报 Vo1．18，No．2 2003年 3月 JournalofInorganicM aterials M al-．，2003 文章编号：1000—324X(2003)02—0490-05 氮化铝薄膜织构的极图法研究 许小红 ，_，武海顺 2，马文瑾 2，段静芳 2，李佐宜 (1．华中科技大学电子科学与技术系，武汉 430074；2．山西师范大学化学-b材料科 学学院，临汾041004) 摘 要：在x射线衍射结果的基础上，采用极图法研究了AIN薄膜以(002)和 (100)面的取 向分布，发现在一定条件下制备的A1N(002)有很强的织构，并通过极图法来确定x射线衍射 所无法确定的AIN(100)面择优取向薄膜中各晶粒 c轴间的关系． 关 键 词 ：氮化铝薄膜 ；极图；织构 中图分类号 ：TB43 文献标识码 ：A 1 引言 AIN是一种无机非铁性压电材料，具有宽的带隙、高的电阻率、高的抗击穿电压、高的 声传播速率和低的传输损耗，在微