Ti合金化DLC膜的结构和力学性能.pdfVIP

维普资讯 第 17卷 第 4期 无 机 材 料 学 报 V01．17．NO．4 2002年 7月 JournalofInorganicM aterials Ju1．，2002 文章编号：1000—324X(2002)04—0771—06 Ti合金化 DLC膜的结构和力学性能 江晓红 1，RogachevA．V．2，陆小华 1，金元生 3 (1．南京工业大学化 工学院，南京 210009；2．白俄 罗斯 国立交通大学材料 系，戈梅 利 246653；3．清华大学摩擦 学国家重点实验 室，北京 100084) 摘 要 ： 在一台yBHI／I兀A 一1型双激发源等离子弧薄膜沉积装置上制取 Ti合金化 DLC 膜 ，用纳米硬度计 、显微硬度计 、原子力显微镜 以及 x射线衍射仪和光 电子能谱仪等手段对薄 膜 的力学性能和结构进行 了分析和测定．摩擦磨损试验在一台球 一盘滑动磨损试验机上进行． 比较 了不同钛合金化程度的D