氮化碳薄膜的结构与特性.pdfVIP

维普资讯 第 16卷 第 2期 无 机 材 料 学 报 VOI_16．NO．2 2001年 3月 JournalofInorganicM aterials Mar．．2001 文章编号：1000-324X(2001)02—0377-04 氮化碳薄膜的结构与特性 陈光华 1,2，吴现成 ，贺德衍 (i．兰州大学物理系-兰州 730000；2．北京I业大学应用物理 系，北京 1000221 摘 要 ：采用射频等离子体增强化学气相沉积 (CVD)+负偏压热丝辅助方法直接在 Si(1OO) 村底上翩备 了多晶 c3N|薄膜 ． x射线衍射测试表 明．薄膜 同时古有 和 ．csN{晶相 以及 未知结构，没有观测到石墨衍射峰．利用扫描 电子显微镜观测到线度约 2m 、横截面为六边 形的 C3N·晶粒．纳米压痕法测得薄膜的硬度达 72．66OPa．