等离子浸没离子注人沉积纳米TiN薄膜的机械性能研究.pdfVIP

维普资讯 第 18卷 第 4期 无 机 材 料 学 报 Vo1．18，No．4 ； 2003年 7月 JournalofInorganicM aterials Ju1．，2003 l 文章编号：1000—324X(2003)04—0904-07 等离子浸没离子注入沉积纳米 TiN薄膜的机械性能研究 万国江，黄 楠，冷永祥，杨 萍，陈俊英 (西南交通大学材料学院生物材料与表面工程研究所，成都 610031) 摘 要 ：采用等离子体浸没离子注入沉积 (PIII-D)在不锈钢基底上合成 TiN薄膜 ．对沉积 TiN薄膜后的不锈钢试样进行拉伸变形实验，扫描 电子显微镜 (SEM)原位观察表 明在较大塑 性变形量下氮化钛薄膜没有剥落和裂纹出现．采用划痕法测得薄膜与基体间有较强的结合力． 薄膜的纳米压痕测试显示 出很高的纳米硬度和弹性模