BaTiO3薄膜的Sol—gel法制备及其介电特性研究.pdfVIP

维普资讯 @ 一B aTi。3薄膜的 s。1．gel法制备 及其介 电特性研究 、 ． 窭堂鏖 贾 锐 陶明德 递(=) 己 (中国科学院新疆物理研究所 ，乌鲁木齐 830011) ， 摘 要 以技酸四丁酯和乙酸翱为主要原料，烈乙二醇融甲醚为溶荆，采用溶腔凝肢法成功地配 制出了B 溶肢，溶睫清晰稳定，保存时阃长：井用KRD分析了沉积在 si(1∞)低阻硅片上的薄膜的 结构 ，发现薄膜在600℃时结晶状态己良好。文 中同时对薄膜的舟电性质进行研究，井讨论了退上温度 时薄膜舟电性质的影响。 关键词 B 薄膜 溶腔．凝腔岳 舟电性质 磷酸 薄目 稳定的BaTi 溶胶，溶胶的保存时间长。并在Si (100)衬底上制备 的BaT 薄膜均匀、无裂缝。 文中同时对薄膜的介 电性质进行了研究。 BaTiOz具有高的介 电常数 ，良好的铁 电、压 电 和绝缘性能，并随着器件的高集成、高密度、微型 2 实验 化的要求，BaTio3薄膜在各领域受到高度重视。 随着薄膜技术的进步，人们已经通过脉冲激光沉 21 薄膜的制备 积l、溅射 、热液合成l、金属有 机物分解 制备 B 薄膜的工艺流程图如图1所示 (MOD)[4J、分子束外延 (MBE)[、反应蒸发L6J、溶 制备薄膜的原料是市售的乙酸钡与钛酸四丁酯， 胶 凝 胶 J和 金 属 有 机 物 化 学 气 相 沉 积 (MOCVD)[等方法制备出了BaT 薄膜。溶胶 凝胶法由于反应在溶液中进行，其均匀度高，同时 烧成温度低、易于改性、工艺简单、成本低，而受到 广泛的关注。用 s01．l法制备薄膜时，一个重要 的问题是选择合适的原材料和合适的溶剂。目前 以溶胶凝胶法配制溶胶时，采用的溶剂一般是乙 醇、i．G1 OH和乙酸，并以钡醇盐或乙酸钡及钛 醇盐为原料 “ 。但是，作者在实验中发现，以 上述溶剂制备出的BaTi 溶胶存在一个共同的 特点：溶胶的牯度大，保存时间短，易凝聚。而且 在薄膜的制备过程 中，存在薄膜易开裂的现象。 这将给 BaTi 薄膜的制备工艺带来较大的困难。 所以必须寻求一种新的溶胶凝胶法的制备方案， 以增强溶胶凝胶法制备 BaTiOz薄膜的实用性。 作者尝试了以乙二醇独甲醚(MOE)为溶剂，以醋 酸钡和钛酸四丁酯为原料．成功地配制出了清晰 围l 薄赡捌备渡程围 2l 维普资讯 以乳酸作为螫合剂，并添加一定量的乙酸，以降低 3．1 薄膜的物相分析 溶液的pH值，抑制钛酸四丁酯在溶液中的水解。 图3给出了在不同热处理温度下的XRD图 然后精确量取一定量的钛酸四丁酯，保证钛酸四 谱。我们发现，薄膜在600℃已形成结晶状态 良 丁酯与乙酸钡的摩尔比为 1：1，并通过搅拌和控 好的薄膜，并随退火温度的升高，Bm 薄膜的 制溶剂量 ，制成一定浓度的透明溶液。将制备好 (1lO)主峰值不断增加，薄膜晶化越来越完善。 的溶胶滴在 Si(100)低阻硅片上，匀胶、干燥后，放 人电炉中在45o℃下，保温30分钟，得到厚度大约 为 70nm的薄膜，通过多次涂膜即可得到不同的 厚度，最后在不同的温度下进行热处理。薄膜晶