压电陶瓷表面化学镀Ni—W—P合金工艺研究.pdfVIP

维普资讯 2001年12月 表 面 技 术 第30卷 第6期 压电陶瓷表面化学镀 Ni—w—P合金工艺研究 骆宏钧 ．王健云，罗木灿 (北京化工大学材料科学与工程学院，北京 100029) [摘要] 研完了镀液吝组分和工艺务件叶沉衣速率、鲒台强度等的影响，井研究了镀层耐海水腐蚀-睦能和檀液稳定 性，最终确定了台适的压电陶瓷化学镀 Si-W-P告垒配方 [关键词] 化学镀；结合强度；沉积速率；稳定性； [中图分类~-]TG1744；I~1532 [文献标识码]A [文章编号]1001—3660[2001)06—0013 ∞ TheStudyon ElectrolessPlatingNi-—W -—PAlloyon PiezoelectricCeramic LUOHong-jun ，WANGJian-yun，LUOShu·ca／l (CollegeofMaterialsScienceandTechnoIo~-，BeljingUniversityofChemicalTechnology， iitng100029．China) [At~iraet】 Beforestudythefilm’scorrosionresistanceintheseawaterandthebath’sstabilit~，扯1eil~lu eneesofthecon~ositionsandtechnologicalconditionsonthedepositionPateandadhesivestrengthinthispaperaFC discussed．Infmany，aappm atebathfordectml~splatingNi一 P,dloyOilpiezoelectricceramicisgot lKeywords] Electrolessplating；Adhesive5ⅡBrgf}l；Depositionrate；Stability O 引言 1．1 化学镀的工艺 随着现代工业技术，特别是近年来电子、计 砂纸打磨(300#、400#、500#)一清洗一碱 性除 算机、国防等工业的飞速发展，对材料的种类、性能要 油一清洗一粗化一清洗一敏化一清洗一活化一清洗一 求越来越高。陶瓷由于具有各向同性 高耐磨性、低热 还原一化学镀 膨胀系数、高绝缘介电系数等优 良的综台性能而受到 1．2 测定方法 了极为广泛的重视…。 (1) 厚度：GB5929—86轻工产品金属镀层和化 压电陶瓷材料作为一种重要的功能材料，在超声 学处理层的厚度测试法—— 金相显微镜法 技术、机电转化等方面应用十分广泛。但在应用之前， (2) 结台力：自制结台力测试装置 必须在表面上覆盖一层结台力、耐蚀性都很好的金属 (3)镀层耐蚀性 ：人工海水浸泡试验 层。本实验室在开发出的 ．P化学镀层的基础上，继 (4)镀液稳定性 ：钯稳定性试验 。 续研制了一种热稳定性高，耐蚀性好的Niw．P合金化 学镀层 。文中研究了镀液各成分及工艺参数对镀层沉 2 结果与讨论 积速率和结合强度的影响。 2．1 镀液成分的影响 1 试验材料与方法 21．1 NiS04·6H^0浓度对镀层沉积速率及结合强度 表 1 PZT~．压电陶瓷的组成成分 的