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双隔膜泵的工作原理.pdf
双隔膜泵
Honeywell Intl. Plymouth MN 55441
霍尼韦尔实验室
Cleopatra Cabuz William R.Herb Eugen I.Cabuz Son Thai Lu
摘 要 是多-增压室蠕动泵 所以其泵送效率较低 最新开
发的DDP 将增压室从4 个降至 1 个 从而使尺寸
这篇论文报告了在泵输送微量和半微量气体 缩小 3 倍 功率降低2 倍 而泵排量与具有相同尺
方面的主要改进 而气体的输送是使用了新开发的 寸增压室的泵相比 提高了约 50%
静电致动的双隔膜泵(DDP) 该DDP 使用一个适形
的泵增压室和两片静电致动的结构隔膜 从而能够
本文将详细叙述双隔膜泵的结构 工作原理
进行准确的(流量)调整 DDP 在约为1.5×1.5×0.1cm3
制造和测定参数 我们将说明霍尼韦尔的双隔膜泵
的满泵量下 演示的流量为30ml/min 耗电量约为
对各种便携式系统来说是一个富有吸引力的选择
8mW DDP 在结构上是完全对称的 能准确地进
行双向操作; 本质上存在零死区; 并可精确测量
为增加泵排量 单独的泵输送通道可以 1D 2D 和
3D 阵列制造 此特点能使单独的泵输送通道最优
化 以获得静电致动条件下最好的性能 让测量的 横截面
泵排量达到所要求的排量 2×3×5 阵列的泵已作了
成功的演示 DDP 阵列每分钟输送4 升 将比市场
上隔膜 出口
上可购得的最先进的( 空) 气泵[3]在泵量上约小 4
倍 耗电量也约小4 倍
简 介
化学和生物控制检测技术的最新发展已使检
测器的灵敏度得到很大的提高 同时其尺寸 重量
和成本也有明显的降低 业已证实便携式系统能检 下隔膜 进口
测到万亿分之几含量的痕量爆炸物 并可将该系统
驱动信号
应用于解决地雷检测的难题上[1] 传统的爆炸物检
测器是地面安装的仪器 其尺寸为许多立方英尺
同时 目前正在开发一种能检测到每立方米空气含 图1 双隔膜泵 (DDP) 的简要结构
1 个微生物的生物检测器 当必须检测气相分析物
或大气中的颗粒(尘埃) 时 为增加检测概率和缩短
检测时间 通常使用取样系统 泵并没有跟上检测
技术方面的发展 因而一种可靠 小型 低功率 顶视图 增压室边界
低成本 高排量 形状简单的泵经常列在系统开发
者希望开发项目的清单中
适用于便携式系统的泵应有非常高的质量因
数(FOM) 该质量因数被定义为泵排量/ 耗电量/ 重
量 小于 1psi 的压头 对提供通过过滤器或限流器
的泵送能力来说已足够富裕 同样对于多检测器系
统 高度叠装陈列的泵可提高系统的适应性 在使
用固体颗粒过滤器的取样系统中 泵双向输送是一
个非常有用的特性 因为它能提供清洗过滤器的能
力 此外 泵双向输送也可用作为智能型取样系统 上隔膜中的孔
中的另一个特征 下隔膜中的孔
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