双面曝光机中观察对准显微镜的机械设计.pdfVIP

双面曝光机中观察对准显微镜的机械设计 a6／ (电于I业部第四十五研究所 甘肃平京 要 扼要介龆 j适 用于双面曝光观察对准显微镜 的结 准的独特性和技术难点进行j剖析，成功地解决j该系统不能整体调焦的难题，使该 系统在z向不移动的情况下达到j调焦和齐焦的目的。 关键词 翌墨盈 墨堇丝查苎 物镜分离量 祝场切换 卧式观察 l 引言 一 些特殊的技术和措施，以实现其 术要求。 观察对准 精度的关键部件，其性能和质量将直接影响 2 主要技术指标 操作者能否迅速对准，而双面曝光机 由于其 物镜 {3×，NA0．06 独特的工作原理，对观察对准显微镜无论从 视场 {06mm 光路上还是机械结构上都提出了独特的要 目镜 ：10×、15× 求。 总放大倍数：30×--45× 因为双面对准曝光机的对准观察不同于 分辨率：0．006mm 常规单面曝光机，它与常规单面曝光机的观 物镜分离量：26～70mm 察系统相比具有 下三个不同特点，首先，它 视场切换量 ±6，5mm 受到结构上的限制，需要将立式观察改为卧 双管镜齐焦移动量：±4mm 式观察，同时，对准观察显微镜整体还需从曝 显微镜整体移动量：75mri3． 光视场上移开；第二，对准观察的方式也不同 目镜分离量：56～72mm 于单面曝光机，单面曝光机只需进行掩模图 从 以上技术指标及其三个主要特点来分 形与基片图形的对准观察，而双面对准曝光 析，该系统需有六个运动，即：物镜分离、双管 机的对准观察首先是上掩模 图形与下掩模图 镜齐焦、显微镜整体移动、视场切换、目镜分 形的对准观察，其次才是一次曝光后各次套 离、装校时物镜前后移动的调整。 准时掩模图形与基片上一次曝光后图形的套 准观察；第三，由于结构上的限制，对准观察 3 保证光学技术指标的实现 显微镜在 z向(垂直于掩模像面的方向)调 焦无法实现 由于双面对准观察显微镜具有 保证光学技术指标的实现，除了要保证 以上三个不 同特点，使得该对准系统无论在 整个观察系统各机械零件的几何精度外，更 光路的设计上还是在机械结构的设计上 ，不 重要 的是要保证 以上六个运动副 的运动精 26 1998年幂 l期 《电子工业专甩设奋) 度， 保证光学镜 片在其运动轨道上平稳运 所 其传动部分均采用齿轮齿条传动，采取 动，满足光学技术指标的要求，在电子部第 四 此传动方式既可满足结构上的要求，也可满 十五研究所