基于电化学加工的微钠探针制备技术.pdfVIP

14 第15届全国特种加工学术会议论文集(下) 基于电化学加工的微钠探针制备技术 王玉峰，曾永彬，曲宁松，吴修娟，朱荻 (南京航空航天大学机电学院，江苏南京210016) 摘要：提出了基于液膜电化学加工原理制备尖锥形和大长径比探针的方法。分析了液膜电化学加工方法的加 工机理，采用静态液膜法制备出针尖曲率半径为40nrll的尖锥形探针。通过动态液膜电化学／v：r_方法，即在工件 阳极施加往复直线运动的方法制备具有大长径比的探针。对动态液膜法的成型机理进行了阐述，并通过试验、分 析得出了加工电压、电解液浓度、运动参数等对探针长径比与平均直径的影响规律，并制备出长径比达70、平均 直径为300nlll的大长径比探针。 关键词：探针；尖锥状；大长径比：液膜电化学加工 微纳尺度探针是指尖端尺寸在几十纳米至几百微米的探针，其广泛应用于微机电系统(MEMS)、微 电子、光学、航空航天、微纳加工及生物医学等前沿领域…。微纳尺度探针的制备、形状控制、成形机理 和应用等一直是微纳制造领域的研究热点之一。电化学加工(ECM)作为一种特种加工领域的重要加工方 量好，不受材料硬度限制，加工后工件无残余应力及变形等优点【lJ。因此，．ECM广泛应用于微纳探针的制 备过程。Yasser等利用电化学浸液加工方法制备出针尖半径小于10n．trl的尖锥形探针[3】。韩国的Lim等人 研究了利用ECM加工大长径比探针的成形机理，并通过控制电流密度和电压的大小制备出直径50 gm、 长径比达80的探针【4J。台湾的Fan等利用脉冲电化学加工方法制备出直径100 grn的大长径比电极【5】。南 京航空航天大学的孟冬等利用电化学刻蚀和单脉冲放电组合技术，加工出直径30岫左右微细球状电极探 针【6J。Kim等用环形阴极上形成的液膜进行电化学刻蚀加工，制备纳米级直径探针【7J。 本文探讨了基于液膜电化学加工原理制备微纳尖锥状和大长径比探针的工艺方法，并对加工机理进行 了分析，根据试验结果分析，得出各个工艺参数对所制备探针质量的影响。 1液膜电化学加工原理 加工时，采用水平放置圆环作为阴极，位于圆环中心的工件作为阳极。将电解液滴于圆环上，电解液 由于表面张力的作用而悬浮在圆环上形成液膜。当两端接通电源时，即可实现对中间的工件的电化学加工。 其原理见图10 2尖锥状探针制备 试验选用钨丝作为阳极，直径为0．2mill的钨丝圈成圆环作为阴极。电 钨丝(+) 解液为KOH溶液，并通过控制溶液的体积控制液膜的厚度。在液膜电解加 ＼ 电源 斗 ＼ 工过程中，一方面阳极工件由于电化学反应被溶解，另外，电解加工过程中 圆环(．) | 7＼ 阳极表面产生电解产物WO。}，并在重力的作用下形成倒锥状的“扩散层”国 鳃 (图2)。扩散层使得电解液的电导率降低，进而使电化学反应速率变小。 ＼电解液／ 由于扩散层厚度的差异，使得沿工件轴向的电解加工速度不同，最终使工件 A√ ＼ 呈倒锥形。阳极工件正对圆环的位置的加工速率最大，因此，阳极在该位置 液膜 直径达到最小值。当直降减小到一定程度时，在下端重力的作用下钨丝被拉 断，下端从液膜中脱落。因此，同时形成了两个尖锥状探针。