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介质上电润湿现象研究.pdfVIP

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  • 2015-08-27 发布于安徽
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介质上电润湿现象研究.pdf

    第25卷第4期增刊 仪器仪表学报 2004年8月 介质上电润湿现象的研究+ 曾雪锋 董 良 吴建刚 岳瑞峰 刘理秉 (清华大学微电子学研究所北京 摘要介绍了介质上电润湿的基本原理，分析了介质层材料的介电常数对接触角变化的影响，并提出了优化介质薄膜厚度的 方法，为介质上电润湿的进一步应用提供了理论基础。 关键词 电润湿介质上电润湿接触角 厌水层 ofthe Study Wu Yue Liu ZengXuefengDongLiang JiangangRuifeng (Instituteof Microelectronics，TsinghuaUnivers

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