金刚石声表面波器件研制.pdfVIP

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2015-08-27 发布于安徽
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金刚石声表面波器件研制.pdf

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22 1 Vol. 22 No. 1 2006 2 JOU NAL OF TIANJIN UNIVE SITY OF TECHNOLOGY Feb. 2006 : 1673095X( 2006) 徐晟, 陈希明, 杨晓苹, 杨保和 ( , 300191) : 对 ZnO /IDT/金刚石多层结构高频声表面波滤波器进行模拟设计样件制备和测量. 利用丝化学气相沉积方法, 在抛光 Si基底沉积致密光滑的 CVD金刚石膜;采用磁控溅射法在金刚石薄膜上制备 C 轴取向的氧化锌压电薄膜. 研制的 ZnO /IDT/金刚石 /硅结构 SAW 滤波器, 叉指换能器( IDT)指宽 1. 7 m, SAW 滤波器频率达到 1. 4G z. : ; ; ; : TN201 : A Analysis and preparation of SAW devices on diamond XU Sheng, C EN X im ing, YANG Xiaoping, YANG Baohe (Department ofOpticalElectronic Information and Electronic Engineering, T ianjin University ofTechnology, T ianjin 300191, China) Abstract: This paper presents the frequency response smi ulation, preparation and measurement of surface acoustic wave ( SAW ) filters based on ZnO/IDT/diamond multilayered structures for high frequency communication system. W e deposited diamond by RCVD on silicon, and deposited highCaxis oriented ZnO by RFsputtering on diamond. Based on the same IDT structure ( interdigitalw idth is 1. 7m), the frequency response smi ulation results are got. The center frequency of ZnO/ diamond/Si structures can reach to 1. 4 G z. K ey words: SAW; multilayered structures; diamond film; ZnO piezoelectricity films , ,. , 1 ,. ( 10 km /s), 1. 1 SAW () ., , , 1. ; , . SAW [ 12] . , SAW , SAW . 1 , SAW Fig. 1 Structure of SAW device : : ; (033700611); (. : ( 1980 ), , . : ( 1955 ), ,