磁控溅射法镀制红外低辐射膜的研究进展.pdfVIP

第 卷第 期 Vol.45,No.5 45 5 真 空 VACUUM 年 月 Sep.2008 2008 9 磁控溅射法镀制红外低辐射膜的研究进展* 1 2 辛荣生 林 钰 , 郑州大学材料科学与工程学院 河南 郑州 河南教育学院化学系 河南 郑州 (1. , 450052;2. , 450014) 摘 要:本文介绍了采用磁控溅射法在玻璃和柔性衬底上镀制红外低辐射薄膜的研究进展。根据国内外 的研究现状,对薄膜的节能原理、制备方法、膜