红外吸收光谱法研究磁控溅射沉积SiOx非晶薄膜的过程.pdfVIP

第 2 7 卷 , 第3 期 　 　　　　　　　　　　　光 谱 学 与 光 谱 分 析 Vol 27 ,No3 ,pp456459 2 0 0 7 年 3 月 　　　　　　　　　　　 　Sp ect ro scop y and Sp ect ral Analy si s March , 2007 　 红外吸收光谱法研究磁控溅射沉积 SiOx 非晶薄膜的过程 王申伟 , 衣立新 , 苏梦蟾 , 陈恩光 , 王永生 北京交通大学光电子技术研究所 , 发光与光信息技术教育部重点实验室 , 北京 　100044