计算全息图检测大口径凹非球面系统的研究.pdfVIP

第 卷第 期 年 月 ?# ? 红外与激光工程 ! # @4,=?# A4=? !#$%$’()*(+),$(-./$/.((!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!B0= ! 计算全息图检测大口径凹非球面系统的研究 ! ! ! 刘 华 卢振武 李凤有 张红鑫 C 中科院长春光学精密机械与物理研究所 应用光学国家重点实验室!吉林 长春 %?!!D 摘 要 根据圆形计算全息图的衍射特性 将曲面圆形计算全息图与补偿镜相结合 应用于凹非 ! ! ! 球面折射式零检测光学系统中 与传统的折射式零检测光学系统相比 该系统不仅可以简化光学系统 ! ! ! 的装调过程 还可以降低计算全息图与补偿镜的制作精度 减少制作成本 阐述了利用曲面计算全息 ! 图衍射特性的折射式零检测光学系统检测凹非球面的基本原理 给出了具体的设计实例 对于口径为 ! 的抛物面 检测结果 ! 值为 ’7 )) ! 5!E 关键词 光学设计 非球面检测 计算全息图 ! # # 中图分类号!FA!E 文献标识码!G 文章编号!%!!!# $! %?!?%!!E !# $%$’() *+, -.,)% /+(/.0% 1,*./% 9HI J0* K 9I L1M !;0 K 9H NM. !O40 K LJGAP J4. !Q+ RST*TM UMO 9*V4/*T4/O 4W G,+MX YT+63K Z1*.610 H3T+T0TM 4W YT+63K N+M [M61*+63 *X \1O3+63K Z1+M3M G6*XM)O 4W S6+M6M K Z1*.610 %?!! K Z1+*] 23$,./$ 4N4/ T1M ,*/.M 646*^M 30/W*6M K T1M T/*X+T+4*, TM3T+. )MT14X +3 0,, TM3T3 VO 03+. /MW/*6T+^M 64)M3*T4/ = J4;M^M/ K 4T 4,O +T +3 X+WW+60,T T4 *,+. T1M 4T+6*, M,M)MT3 4W T1M 3O3TM)K V0T *,34 +T +3 MQM3+^M T4 W*V/+6*TM T1M) = H T1+3 *M/ T1M ZPJ W*V/+6*TMX 4 T1M 64)M3*T4/ ,M3