影响薄膜涂层硬度测试的因素.pdfVIP

分析检测· 影响薄膜(涂层)硬度测试的因素 上海交通大学教育部高温材料与测试开放实验室(200030)李河清蔡王甸 马 峰陈秋龙 [摘要]薄膜(涂层)同基体材料的力学性能有很大差异，同时．由于其厚度薄，且其与界面和基体材料间的交互作 用影响其力学性能测试中应力、应受的分布与传递，常规的拉伸、冲击等方法对其不再适用 列举了薄膜(涂层)硬度测试 中的一些问题．着重讨论了基底和膜基界面、压共形状、隆起和凹陷现象、和始零住确定、弹性恢复以厦表面粗糙度对薄膜 (涂层)硬度测试的影响，并提出了相应改进措施结果表明，只有综合考虑各个影响因素．才能获得薄膜(深层)的本征硬 度． [关键词]薄膜；潦层；硬度 5 [中图分类号]耵；115 [文献标识码]B [文章编号]100l一1560(2001)09—0045一03 l前言 硬度值升高在涂层和薄膜材料硬度测试时，除了应考虑负荷依 存}生外．特别啦考虑到膜薄和膜基间的相互作用、相瓦影响这 随着表面工程技术的发展，列薄膜(涂层)材料的力学性能及 K寸结构特点一 其表征评价技术提出更新、更迫切的要求。由丁薄膜(涂层)材料 在潦层和薄膜材料的硬度测试过程中，随着LE八深度(载荷) 的厚度均很薄(通常仅为微米级)，而且膜f桀层)、界面和基萍村的逐渐增加，基底和界面的应力．应变场与膜(静)层发生交互作 料三者间的交互作用影响到薄膜(涂层)在力学陛能测试中应力、 用的程度增大，因而测得的薄膜(涂层)硬度值往往是受薄膜、界 直变的分布与传递，这就给其力学性能表征带来很大的困难，块 面和基体共同影响的硬度值，称为复合硬度，而小是薄膜(涂层) 状材料的常规试验如拉伸、冲击等方法往往已不再适用薄膜(涂 的本征硬度。欲获得与基底材料无关的潦层和薄膜材料的真实 层)材料 硬度，测试时所选用的测试负荷不能过大，否则将困所选用的试 硬度从物理意卫}?讲是材料本征结合力的度量：从材料力 验负荷过高而造成薄膜(涂层)有被刺穿的危险或使所测硬度值 学角度则是机械性能的综合指标，它与材料的抗弹性与塑’|生变 失真。根据GB4342～84舰定，薄膜(涂层)的厚度至少应为维氏 形的能力、抗拉强度、疲劳强度、耐磨性和接触可靠性以及残余应 硬度两压痕对角线平均长度的l5倍，即压痕深度与膜(涂层)厚 力等密切相关硬度犹如一种强度的显微探针，在研究薄膜(涂 度之比不应超过l／10。但是，经过对软膜硬基底和硬膜软基底 屠1材料、微观质点和微区域的力学行为上很具特色，从实用角 两种不同膜基系统的人量宴验和计算机模拟结果，“指出压痕 度讲．硬度测试属于～种无损检测，其操作简便、迅速．无需特殊 深度与膜厚的临界比值要视具体膜基系统而定，它可在()07一 制备样品因而，硬度是各种薄膜(涂层)材料力学性能表征的一 o40内变化。。对硬膜软基底系统此值偏小，而对软嗅硬幕底系 项重要指杯硬度的测试手段有显微硬度、超显微硬度和纳米压 4，当眶痕深度和膜(涂) 统此临界比值允许大于O．1甚至口『达0 ^技术： 层厚度比值超}}{允许的临界值时，则需要应用理论模型从复合 多年来，经过中外材料工怍者的努力，薄膜(涂层)硬度研究 硬度中分离fH薄膜(涂层)本征硬度。戈十薄膜复合硬度H。和 工作已经历从刚开始的研制和完善测试专用仪器设备到借助于 本征硬度肌之间的关系，可用下式表示： 它研究薄膜的硬度变化规律和影响因素阶段，F面介绍薄