纳米二氧化钛薄膜的磁控溅射制备和结构特性表征.pdfVIP

( ) 第 25 卷第 3 期 暨南大学学报 自然科学版 　　 Vol . 25 No . 3 　　　 ( ) 　　　 2004 年 6 月 　　　 Journal of Jinan University Natural Science 　　 　Jun . 2004 纳米二氧化钛薄膜的磁控溅射 制备和结构特性表征 刘彭义 , 　张丽丽 , 　叶　海 , 　叶　勤 , 　唐振方 (暨南大学物理系 ,广东 广州 510632) ( ) [摘 　要] 　用磁控溅射方法制备出纳米二氧化钛 TiO2 薄膜 ,对制膜的工艺参数进行了详细的测 ( ) 试分析. X 射线衍射 XRD 分析表明退火温度提高 ,TiO2 薄膜结晶度增加 ,800 ℃下退火 2 h ,TiO2 薄 膜完全转化为金红石结构 ,其分子式为 Ti O ,出现氧空位. 8 15 [ 关键词] 　磁控溅射 ; 　TiO2 薄膜 ; 　热处理 ; 　晶相转变 ( ) [ 中图分类号] 　O484 　　[文献标识码] 　A 　　[文章编号] 　1000 - 9965 2004 03 - 0293 - 04 ( ) 　　纳米二氧化钛 TiO2 具有许多独特性质而被广泛地用于各种技术领域. 在太阳光照射下 [ 1] [2 ,3 ] [4 ] 纳米 TiO2 产生强氧化能力 和超亲水性能 ,可用于污水处理 、空气净化 、太阳能利用 、抗 [5 ] 菌 、防霉 、自清洁 等. 然而粉末状的纳米 TiO2 颗粒细微 ,在水溶液中易于凝聚、不易沉降 ,催 化剂活性损失大 、难以回收 ,不利于催化剂的再生和再利用. 把 TiO 固定化能有效地解决催化 2 剂回收难问题 ,而且还可以克服悬浮相催化剂稳定性差 、容易中毒的缺点. 把 TiO 制备成薄膜 2 既具有固定催化剂的优点 ,又由于其尺寸细化而具有纳米材料的量子尺寸效应 、表面和界面效 应等特征而提高活性[6 ] ,因而有着理论研究和实际应用价值. 制备 TiO2 薄膜的方法很多 ,主要有液相沉积法 、溶胶 - 凝胶法 、热分解法 、化学