俄歇电子能谱学的历史,现状与展望.pdfVIP

维普资讯 122 第13卷第 2期 1994年 6胃 磁为欠吨 ， 历芝， ，忍 俄 歇 电 子 能 谱 学 的 I 一 ／a『 t 历 史 、 现 状 与 展 望 0 (} (兰州物理斫究所) 1． 引言 俄歇 电子能谱学是科学、物理、化学．。技术和许多其它领域进行表面分析的最有效、最 实用的技术。该技术为表面物理和化学定量化分析奠定了基础．本文介绍了俄歇 电子能谱学 的创始人．美国科学家劳伦斯 ·哈里斯在表面物理方面所做的贡献；简述了俄歇电子能谱学 的历史．发展现状 以及高性能俄歇电子能谱仪的研究成果 ；提 出了目前正在研究的课题和有 待进一步解决的问题；讨论了用俄歇电子能谱仪以及数据处理系统分析仪获得的表面分析参 数 ．包括灵敏度、侧向和深度分辨率及取样深度等． 2． 劳伦斯 ·崎里斯的发现曩其历史背量 1923年 8月发现了俄歇效应，与此同时，俄歇 电子能谱学的研究拉开了序幕． 俄歇效应的主要特点如下。 、 1)能观察以原子数z为特征的一定能量的电子的发射；能鉴别元素 ； 2)能根据 电子轨迹测试 电子的能量；这一技术为光 电谱学的发现打下了基础 ； 3)能探测到单个原子 ； 4)俄歇描绘的原子模型至今仍然正确． 1952年伯 肖普先生编辑出版了俄歇主要成果专集．俄歇效应成为当时物理学领域．主要 是x射线光谱学领域中的主要研究课题。 1952年舒沃茨教授推出了另一个重要成果一 用于超高真空技术的离子泵．这项技术为 俄歇电子能谱学的创立开辟了道路。 t953年兰德博士在他的实验室里观察到了二次电子能谱的峰值 ．他将这些峰值确定为饿 歇跃迁 ．但是那个时期的实验技术和真空技术还远远不能应付表面分析中出现的深层球的问 题．后来兰德终止了这项研究． 哈里斯对兰德的研究很感 趣，他决定把这项研究继续下去．从此 以后他夜以继 日地研 究一种表面分析的方法．为了提高信噪 比．哈里斯在相域检波中采用了扇形静电分析仪．早在 1929年休斯和罗捷斯基两位专家就详细描述过选种静电分析仪及其工作原理。哈里斯采用这 种综台的方法得出了能谱的导商 N(E)．1967年 ．哈里斯在美国丹佛召开的X射线研讨会 上介绍了这项成果．他在 《电子激励的俄歇电子的材料分析 》一文中详细描述了他的历史性 维普资讯 雷雯 俄歇 电子能谱学的历史、现状与展望 123 发现。该文刊登于 l967年 《电器总公司报告文集 》上。同年 4月28日，哈里斯将这篇文章交给 《应用物理 》杂志。不幸的是这篇划时代的作品当时投有得到出版商的赏识，未被采用 ·后