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第 卷 第 期 光学 精密工程
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一种宏微双重驱动精密定位机构的建模与控制
节德刚!刘延杰!孙立宁!孙绍云!蔡鹤皋
哈尔滨工业大学 机器人研究所!黑龙江 哈尔滨 #
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摘要!提出一种宏微双重驱动精密定位机构%采用高性能直线电机直接驱动宏动平台%实现系统大行程
微米级精度定位安装在宏动平台上的压电陶瓷驱动微动平台%实现纳米级的分辨率和定位精度%以高
频响动态补偿系统的定位误差采用精密光栅尺反馈微动平台输出端的位置信号%实现定位机构的全闭
环反馈控制’在分别建立宏动(微动(宏微机构模型的基础上%提出复合型宏动控制和模糊自校正 0C\
微动控制的宏微控制策略’实验研究表明)系统的动态和稳态性能良好%该定位机构的最大工作行程
%稳定时间小于 %重复定位精度 ’
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关 键 词!宏微双重驱动!精密定位!建模!控制策略
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中图分类号! 文献标识码!
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