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220 GHz折叠波导UV-LIGA微加工工艺.pdf
第27卷第2期 强 激 光 与 粒 子 束 V01．27，No．2
2015年2月HIGHPOWERLASERAND
PARTICLEBEAMS Feb．，2015
Microfabrication
offolded
waveguideusing
UV-_LIGAfor220GHz wavetube
traveling
Ma
Tianjunl，SunJianhail，Hao Feil，Yi Pukun3
Baolian91，LiFutin92，Liu
(1．InstituteElec
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