316不锈钢表面沉积厚类金刚石膜层的性能研究.pdfVIP

助 财 料 2012年第15期(43)卷 316不锈钢表面沉积厚类金刚石膜层的性能研究 杨发展 ，沈丽如 ，高 翠 ，刘海峰 ，王世庆 (1．核工业西南物理研究院，四川 成都 610041；2．成都理工大学 工程技术学院，四川 乐 山 614000) 摘 要 ： 采用脉冲辉光放 电等离子体气相沉积法在 DLC膜两大类 。一般化学气相沉积法 (CVD)制备含 316不锈钢表面沉积膜层较厚的类金刚石膜层 。利用 氢DLC膜 ，物理气相沉积法 (PVD)多制得无氢 DLC 拉曼光谱仪 (Raman)、X射线光 电子能谱仪 (XPS)、傅 膜。虽然类金刚石膜拥有许多优异的性能，但是 由于 里叶变换红外光谱仪 (FT—IR)、光学显微镜、显微硬度 所制备 的膜层往往和基体产生较大内应力 ，导致膜基 计和摩擦磨损 实验机分别对膜层组成和微观结构及机 结合力较差 ，特别是不 同基体上所制备 的膜层 内应力 械性能进行 了表征。研 究发现 ，通过脉冲辉光放 电等 也不相同，要求制备工艺也不相同。而且类金刚石膜 离子