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多种气流组织洁净室含尘浓度特性 3 杨柳，黄晨 上海理工大学环境与建筑学院 摘要：保证室内颗粒浓度在规定值以内是洁净室功能的核心，而气流组织是主要的保证措施之一。本文针对已建成的有多种 气流组织的洁净室，理论确定不同气流组织下的含尘浓度。文中采用均匀分布计算理论和不均分布计算理论，对不同的气流 组织进行了计算。通过结果分析考察洁净室不同气流组织对室内洁净度的影响，以及不同计算方法结果的区别。论文研究成 果可以为洁净室设计与优化、运行提供参考。 关键词：含尘浓度；气流组织；均匀分布；不均匀分布 Dust concentration characteristics of a multiple airflow organizations cleanroom YANG Liu, HUANG Chen School of Environment and Architecture，University of Shanghai for science and technology Abstract: Ensure that indoor particle concentration within the specified value is the core function of cleanroom, and the airflow organization is one of the main assurance measures. In this paper, the dust concentration in different air distribution of the clean room which has been built with a variety of airflow organization will be determined theoretically. The calculation methods are based on evenly distributed theory and uneven distribution theory. Different air distribution will be calculated in this paper. The result is used to determine the influence of the cleanliness by different airflow organizations, and the distinction between different methods. The research in this paper can give suggestions to the improvement and operation of the cleanroom. Key words: Dust concentration; Airflow; Uniform distribution; Uneven distribution 洁净室含尘浓度是洁净室洁净度等级评价的主要判据，其浓度计算对洁净室设计等有很重要的指导和 [1] [2] 参考价值 。洁净室不同形式送回风结构会产生不同的气流组织 ，而不同的气流组织对含尘浓度有很大 [3] 的影响 。目前很少有洁净室可进行多种气流组织运行，且不同气流组织形式对含尘浓度的影响研究不够。 本文针对已建成的有多种气流组织的洁净室含尘浓度进行理论分析，研究不同气流组织形式对洁净室洁净 等级的影响。为洁净室设计优化、运行提供依据。 1.洁净室概况 2 该洁净室尺寸为4445mm×3200×2100mm，室内面积为14.