LaNiO3导电氧化物薄膜的制备及应用研究.pdfVIP

·28· 材料导报A：综述篇 2012年1月(上)第26卷第1期 LaNi03导电氧化物薄膜的制备及应用研究。 彭焕英，殷明志，蒋迪波 (西北工业大学理学院，西安710129) 摘要 综述了退火温度、气氛和衬底对LNO薄膜结构和电性能的影响，详细介绍了LNO薄膜作底电极或过 渡层在钙钛矿结构的PLT、PZT、BST铁电和BFO铁磁电薄膜生长过程中对其铁电性能和疲劳性能的影响。 关键词LaNiOs制备应用 Fabricationand of OxideThinFilms Conductive Application LaNi03 PENG Dibo Huanying，YINMingzhi，JIANG (SchoolofScience，Northwestern 710129) PolytechnicUniversity，Xi’an AbstractSeveral conditionssuchasannealed sub— typical preparing temperatures，annealingatmosphere，and strateeffectonthemicrostructureandelectronic wereintroduced LNOfilmsasbottom properties emphatically．The electrodeortransitionofPLT，P2H、，BSTferroelectricandBFO ontheelectronicandfa— layers ferroelectromagnetic wereintroduced tigue particularly． words Key LaNiOs，fabrication，application 近年来，含氧八面体结构的氧化物薄膜引起人们越来越 氛和衬底3个因素对LN0薄膜电性能产生影响。 浓厚的兴趣。这主要是因为具有此种结构的薄膜存在金属一绝 1．1 退火温度 缘体(MI)相变、高温超导、铁电和巨磁阻效应以及它们的异 在上述3种不同的制备方法中，退火温度是影响I。No 质结构在理论和应用领域具有广阔的前景[1-3]。研究结果表薄膜微结构及形貌的主要因素。一般来说，薄膜中电子的散 明，这些氧化物薄膜的性能主要取决于它们的结构和界面形 射机制主要源于晶格、晶粒间界、杂质和薄膜的表面。随着 貌[4’5]。因此，选择晶格匹配的电极材料或过渡层具有重要退火温度的升高LNO薄膜的电阻率减小(如图1所示)，均 的实际意义。 方根粗糙度和半高宽减小，一方面LN()薄膜中大晶粒在长 目前广泛用作电极和过渡层的金属薄膜如Pt，不仅与半 大，小晶粒在消失，薄膜的结晶取向性和整体性增强，薄膜内 导体Si衬底的兼容性较差，而且由于金属电极与铁电薄膜的 部缺陷和应力逐渐被消除[13]；另一方面小晶粒具有大的表面 功函数不同，在界面处会形成大的肖特基势垒，促使氧空位