LaNiO3衬底上Pb(ZrxTi1-x)O3铁电薄膜及梯度薄膜的制备和研究.pdfVIP

物理化学学报(Ⅵ锄刖鼽础“P魁￡已易日D) 512 Acf口P庇y5．一C仇f，扎．Sfn．，200S，21(5)：512～516 May 李建康 姚熹1 (苏州科技学院电子与信息工程系，苏州2150ll；1西安交通大学电子材料研究所，西安710049) 了成分深度分析，结果证实成分梯度的存在．经Ⅺ①分析表明，制备的梯度薄膜为四方结构和三方结构的复合 结构，但其晶面存在一定的结构畸变．经介电频谱测试表明，梯度薄膜的介电常数比每个单元的介电常数要大， 但介电损耗相近．在10kHz下，梯度薄膜的介电常数和介电损耗分别为317和O．057．经电滞回线的测试表明， 梯度薄膜的剩余极化强度比每个单元都大，而矫顽场却明显较小．梯度薄膜的剩余极化强度和矫顽场分别为 29．96斗c·cⅡ产和54．12 高于每个单元的热释电系数． 关键词： LaNi0。薄膜，成分梯度薄膜，锆钛酸铅，热释电系数 中图分类号： 064l，TM22l 目前，铁电薄膜及其成分梯度薄膜由于具有良 AdvaIlce 好的铁电、压电、热释电、电光及非线性光学效应等， x射线衍射仪分析了薄膜的微观结构；用 在微电子学和光电子学等领域均具有重要的或潜在 的应用前景n～．铁电薄膜的底电极一般采用Pt，这 了薄膜的电滞回线，用高灵敏度热释电系数测试系 是因为Pt的导电性强、化学稳定性好㈣．但是Pt电统测定了薄膜的热释电性能． 极在制备过程中，如果处理不当，容易形成“小丘状” 的突起，这将严重破坏铁电薄膜电容器的性质【8】．另 1实验 1．1 LN0薄膜的制备- 外，以P叮“sio√si为衬底的铁电薄膜在经多次、长 时间的极化反转容易出现老化、疲劳问题【9】．最近， 首先以硝酸镧和醋酸镍为原料，冰醋酸和水为 导电氧化物(如L‰5Sr05C003、YBa2Cu307小LaNi03 以及srRu03)作为铁电薄膜的电极材料受到人们的重 视m11]，其中，LaNi03(LNO)薄膜作为一种钙钛矿结胶转速为3000r·IIlin4，匀胶时间为20s．通过匀胶得 构的金属氧化物，由于其晶胞参数(n=3．84)与铁电薄到湿膜以后，每层膜的热处理均在快速热处理炉 膜非常接近，使之不仅可作为电极材料，还可作为籽 晶层来优化铁电薄膜的结构和性能，引起了人们的 s，再在400℃保温360 s， 极大关注，成为铁电薄膜底电极的首选材料之一旧． 然后快速降至常温．匀胶和热处理重复4次，即得到 LNO薄膜． 本文首先通过金属有机化合物热分解(MOD)方 1．2 法在si(100)基片上制备出LNo薄膜，然后以s01．gelPZT铁电薄膜及其梯度薄膜的制备 方法，在LNo／si(100)衬底上制备出Pb(z叫’i。003 (PZT)铁电薄膜及其梯度薄膜．通过俄歇能谱(PHI一 电薄膜及其梯度薄膜．首先以乙酸铅、钛酸四正丁酯 +国家重点基础研 究发展计划项目(2002cB613304)资助 万方数据 No．5 李健康等：LaNio。衬底上Pb(盈Ji，00。铁电薄膜及梯度薄膜的制备和研究 513 和四正丁氧基锆为原料，乙酰丙酮为鳌合剂，按照文 献[13]介绍的流程，制备Pb(zEo舯rrin舯)O。[PZT(80／20)] 和Pb(zr0刷n舯)0。【PZT(20／80)]的干凝胶．然后将干 凝胶溶解在乙二醇甲醚中，质量分数为15％，在110℃ 下搅拌20IIlin，便得到亮黄色的PzT(80／20)、PzT(20／ 80)溶