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MoS2软涂层刀具的基体材料优选及涂层制备.pdf
材料工程／2007年12期
MoS：软涂层刀具的基体材料优选及涂层制备
ofSubstrateMaterialsand of
Optimization Preparation
CoatedTools
MoS2
赵金龙，邓建新，宋文龙
(山东大学机械工程学院，济南250061)
ZHAO
Jin—long，DENGJian—xin．SONGWen—long
ofMechanical
(Department Engineering，Shandong250061。China)
University，Jinan
摘要：以常见的几种高速钢和硬质合金为基体材料，运用有限元软件分析了基体表面MoS2软涂层的残余热应力。结果
表明：高速钢表面涂层的最大残余热应力小于硬质合金表面涂层的残余热应力I涂层与基体之间弹性模量和热膨胀系数
等参数及沉积温度的差异是影响涂层残余热应力大小的主要因素。采用中频磁控溅射加离子束辅助沉积工艺制备了两
种MoS2软涂层刀具并对其性能进行了测试，分析结果符合有限元计算的结论。
关键词：Mosz软涂层；残余热应力；中频磁控溅射
中围分类号：TGl74文献标识码：A 文章编号：1001—4381(2007)12—0030—05
Abstract：Stressesduetothermalmismatchbetween andsuhstrate inMoS，一based
coating developed
when room from
cooleddownto 2Dfiniteelement
coatings temperaturedepositiontemperature．A
to
model(FEM)forsubstratewasestablishedsimulateand thermalmismatch
coating system analyze
stress．Resultsshowthatmismatchofcoefficientofthermal and modulusis
expansionYoung’s signif—
icanttOthermalstresses。whilePoisson’Sratioandthermalconductioncoefficienthave1ittleinfluence
Oilthem．Theeffectsof ontheresidual
stresswerealso coat—
depositiontemperature analyzed．Mos2
ings withZrwere by magnetron onthe
composited deposite
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