Mo硫化物Ti复合薄膜的制备及其环境摩擦磨损性能研究.pdfVIP

第27卷第6期 摩擦学学报 Vol27．N06 2007年11月 TRIBOLOGY Nov．2007 Mo硫化物／Ti复合薄膜的制备及其 环境摩擦磨损性能研究 彭仕敏，扬友志，郑晓华，顾斌，涂江平 (浙江大学材料科学与工程系，浙江杭州310027) 摘要：采用高温硫化处理磁控溅射Mo／Ti金属前驱体薄膜制备Mo硫化物／Ti复合薄膜，采用x射线衍射仪、能谱仪 和扫描电子显微镜对复合薄膜的组织结构、化学成分和表面形貌进行分析，采用涂层附着力自动划痕仪和可控气氛球 一盘式摩擦磨损试验仪分别测试薄膜与基体的结合力以及摩擦系数，并用扫描电子显微镜观察薄膜的磨损表面形貌． x15 分析其磨损机制．结果表明：硫化温度在450℃以上时能够生成较多Mo硫化物，最佳硫化工艺为45012h；提高 硫化温度或延长硫化时间均使薄膜的结合力下降；磁控溅射Mo／Ti前驱体复合薄膜经450℃×15 h硫化处理后，薄膜 中生成复杂的Mo硫化物，形成Mo硫化物／Ti复合薄膜；与纯Mo薄膜硫化后相比；Mo硫化物／Ti复合薄膜具有更高 的界面结合力和更优异的摩擦磨损性能． · 关键词：Mo／Ti前驱体；硫化；Mo硫化物／Ti复合薄膜；摩擦磨损性能 中图分类号：TQl74；THll7．3 文献标识码：A 随着空间技术的不断发展，对机械零部件表面 体结合良好Ti过渡层，由此缓解界面突变问题，以 的减摩耐磨性能提出了更高要求．由于飞行器从大 提高界面结合力m1．本研究为制备性能优良的固体 气到高真空、潮湿气氛到干燥气氛的运行转变过程 润滑薄膜提供了新途径． 中液体润滑剂的使用受到限制，因此，运转机械零部 1实验部分 件表面具有稳定的自润滑性能显得尤为重要． 过渡族金属硫化物MoS：作为常用固体润滑剂 1．1金属前驱体薄膜的制备 具有较好的摩擦磨损性能”“1，其大多以固体薄膜 形式采用磁控溅射技术镀覆在摩擦副表面而实现自 润滑及减摩效应．但由于靶材在溅射过程中受到较 钢表面沉积纯Mo和Mo／Ti复合前驱体薄膜．溅射 高能量离子轰击，致使沉积薄膜的微观结构和成分 过程中，以8A电流溅射Ti靶5rain，获得一层较薄 的过渡层，然后共溅射Mo靶(靶电流8A)和Ti靶 发生变化，通常获得的是S原子不足的MoS。(x(2) (靶电流4 薄膜”160，且溅射沉积MoS。薄膜在潮湿环境中易与 A)沉积Mo／Ti复合膜，溅射时间60rain， 空气中的氧气和水发生化学反应并生成MoO，，造成 总膜厚约2．4仙m；制备纯Mo膜时。关闭Ti靶电流 MoS，溅射膜的润滑性能退化与失效”1．研究表明， 溅射M07靶(靶电流8A)，溅射时间90rain，总膜厚 约2，1斗m． 通过添加金属元素Ti、Al、Au及cr等可以有效改善 MoS。薄膜的结构及其摩擦磨损性能”““．为了进一 1．2前躯体薄膜的硫化 步改善MoS，薄膜的组织结构及摩擦磨损性能，本 将金属前驱体薄膜和过量升华硫粉(纯度为 文作者探索采用硫化处理Mo／Ti金属前驱体薄膜制99．5％)置于石英管中，用机械泵抽真空并用氩气 备Mo硫化物／Ti复合薄膜新方法，并考察了其环境置换3次，密封后在电阻炉中进行高温硫化热处理． 摩擦磨损性能．同时，为了改善界面结合