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MWECR CVD法高速沉积α-SiH薄膜的红外光谱研究.pdf
第 卷 第 期 人 工 晶 体 学 报
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年 月 ，
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法高速沉积 ：
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薄膜的红外光谱研究
宋雪梅，宋道颖，陈蔚忠，芦奇力，冯贞健，鲍旭红，邓金祥，陈光华
（北京工业大学新型功能材料教育部重点实验室，北京 )))(( ）
摘要：应用微波电子回旋共振化学气相沉积（ ）方法，在较高速度下沉积了 ： 薄膜，用 红外谱
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仪研究了 ： 薄膜的结构特性随 、沉积温度和沉积速率变化关系，并对 E 附近的特征吸收峰用高
?2@ 5 5 A 2@5 ()))CD
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斯函数进行了拟合分析，获得了沉积高质量 ： 薄膜的最佳工艺条件。
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关键词： ； ： 薄膜； 分析；高斯函数拟合
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中图分类号： 文献标识码： 文章编号： （ ）
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