热电效应导致加速度计输出零偏的理论分析.pdfVIP

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2015-09-01 发布于安徽
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热电效应导致加速度计输出零偏的理论分析.pdf

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四川省电子学会半导体与集成技术专委会2008年度学术年会论文集 2008年12月热电效应导致加速度计输出零偏的理论分析蔡冬葛桐山 (电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室成都 610054) 摘要：针对静电伺服微加速度计输出电压零位偏移现象，通过分析包括赛贝克效应、珀耳帖效应和汤姆逊效应在内的三种热电效应，详细推导了由热电效应引起的感生电压公式，计算得到感生电压为1．29mY，约占输出电压偏移量的505。研究表明，热电效应是导致输出零偏的原因之一．关键词：微加速度计零位偏移热电效应 oftheThermoelectricthatLeadsto Excursionofthe Analysis Effect Zero—g Accelerometer Cai Ge Dong Tongshan (State ThinFilmsand Devices，UESTC 610054) KeyLaboratoryofElectronic Integrated ofChinaChengdu the servo iS thatthree of ABSTRACT：For excursionof electrostatic 7_2ro．g accelerometer,Itanalyzed types Peltier the effect．The ofthe thermoelectriceffect theSeebeckeffect。也e effectand Thomson including expression the iS thecalculationresultiS contributes inducedfromthermoelectriceffectdefivated．and volmge 1．29mV,which one about oftheexcursion．111e resultshowsthatthethermoelectriceffectiS reason 50％magnitude investigation t11atIeadstOthe excursion． words：electrostatic excursionthermoelectriceffect 5ervoaccelerometer Key zero—g 导致输出电压零偏的因素较多，机理也相对 1引言复杂。现有文献主要是从加速度计的力学、热学特性以及读出电路等方面进行研究。文献[1]认随着MEMS技术的发展，惯性传感器件在过