热流微机械陀螺仪检测电路.pdfVIP

第 32 卷 第 12 期增刊 仪 器 仪 表 学 报 Vol.32 No.12 2011 年 12 月 Chinese Journal of Scientific Instrument Dec. 2011 热流微机械陀螺仪检测电路* 魏 静 朱欣华 褚鸿杰 苏 岩 (南京理工大学MEMS惯性技术研究中心 南京 210094) 摘 要：热流微机械陀螺具有结构简单、量程大、抗冲击能力强等优点，在军民领域具有广泛的应用前景。但与其 他 MEMS 传感器一样，热流微机械陀螺仪敏感结构的输出信号微弱，信号检测难度大。论文介绍基于调制解调原理 的热流微机械陀螺仪测控电路的设计；热流微机械陀螺仪数字接口的设计。试验表明，采用论文所述技术实现的 热流微机械陀螺仪的标度因数为 0.49 mV/(o -1 ·s )，标度因数非线性为 1.03%，标度因数对称性为 3.49%，零偏稳 定性为 2.17 / s 。 关键词：热流微机械陀螺仪 数字接口 ADC 数字滤波 Signal Detection of Micromachined Thermal Gas Gyroscope Wei Jing Zhu Xinhua Chu Hongjie Su Yan (MEMS Inertial Technology Research Center, Nanjing University of Science and Technology, Nanjing 210094, China) Abstract: Micromachined thermal gas gyroscope has the advantages of simple configuration, large working range and high shock resistance and can be widely used in the military and civilian field. However, as with other MEMS sensors，the output signal of micromachined thermal gas gyroscopes sensitive structure is weak and difficult to detect. are designed. The design of the detecting circuits based on the phase sensitive detector and the digital interface for micromachined thermal gas gyroscope is introduced. The measurement results of the prototype show a system scale factor of 0.49 mV/(°·s-1), a non-linearity of 1.03%, a symmetry of 3.49%, and a zero-bias stability of 2.17 / s . Key word: Micromachined thermal gas gyroscope digital interface ADC digital filter 1 仪模拟检测电路及其数字化接口的设计，以解 1 引 言 决热流微机械陀螺仪敏感结构输出信号微弱， 微流体惯性传感器利用气体介质取代移动 拾取困难的技术难题。 质量块作为敏感元件，具有结构简单、量程大、 抗冲击能力强等优点。1988 年，A.M.Leung 等 2 热流微机械陀螺仪原理 人发表了研制微机械热流加速度计论文，研制 出真正意义上的无移动质量块的微机械加速度