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30 航空精密制造技术1998 年第34 卷第2 期 测试试验 天津大学精密仪器与光电子工程学院 [ ] 结合H CM - I 型超精密车床的实际q 详细分析 影响超精密车床精度的几种主要因素, 并提出 在数控系统中进行实时补偿的方法 : [ Abstract] According to the HcM- I UPL in detail. this paper analyzes several main factors affected the ma chining accuracy of UPL, and the method of real- time compensate in C C system is also given. Keywords: UPL error compensation machining accuracy , HCM - I , , , , , , ; , 12 , X , , , , 1 , , , , Z , , , 2 Z , , , , , , ( ) , , , , , 1 1 11 , , , , , , , , , , X Z , EEPROM , , CPU , X Z Z X 2 , 影响超精密车床加工精度的因素及其对策 31 , q , , 13 003mP - P , - Ra001m , , 15 , , , , , , , , , , , , , , Z X Z