原创力文档- 1、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。。
- 2、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击 这里二次下载。
- 3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
光刻机智能控制系统设计.pdf
第42 卷第S2 期 红外与激光工程 2013 年12 月
Vol.42 No.S2 Infrared and Laser Engineering Dec.2013
光刻机智能控制系统设计
1,2 1,3 1 1
王 楠 ，蒋 薇 ，严 伟 ，胡 松
(1. 中国科学院光电技术研究所，四川 成都 610209 ；2. 中国科学院大学，北京 100049 ；
3. 四川大学，四川 成都 610065)
摘 要 随 光刻工艺要求的提升，光刻机自动化和智能化的要求程度越来越高。基于传统工控机的
光刻机在很大程度上解决了这个问题，但该设计体积大，功耗高，震动大，且人机交互性不强，多路实
时监控难以集成。鉴于此，设计了一种基于平板电脑的光刻机控制设备，该设备由平板工控机、图像
采集卡和运动控制板卡构成，通过 USB 和串口进行通信。其中平板工控机以嵌入式处理器S3C2440
作为核心，图像采集卡以FPGA 芯片 EP2C8Q208C8 为核心, 运动控制板卡以单片机AT89C52 为核
心。运行时，图像采集卡首先对视频图像进行预处理，接 将其传输至平板工控机进行数据处理和显
示，用户通过控制终端进行操作，最后由运动控制卡完成相应的动作。该设备将现在流行的平板电脑
技术与光刻机相结合，实现了光刻机的智能化控制和在线资源共享，使光刻机更加智能化和现代化。
；
关键词 光刻机 FPGA ； ARM ； 智能控制
中图分类号 TP23 文献标志码 A 文章编号 1007-2276(2013)S2-0317-06
Design of lithography machine intelligent control system
1,2 1,3 1 1
Wang Nan , Jiang Wei , Yan Wei , Hu Song
(1. Institute of Optics and Electronics 袁The Chinese Academy of Science , Chengdu 610209, China;
2. University of Chinese Academy of Sciences , Beijing 100049, China;
3. Sichuan University , Chengdu 610065, China)
Abstract: With the development of lithography , lithography tools require for a higher degree of
automation and intelligence . Lithography tools based on the traditional IPC (Industrial Personal Computer)
have solved this problem partly , but it existed shortcomings: high power consumption, weak
文档评论（0）