六氟丁二烯的制备及提纯工艺进展.pdfVIP

上海化工 V01．40No．6 Chemical Sh￡mghai Industry Jun．2015 六氟丁二烯的制备及提纯工艺进展 李清 上海市化工科学技术情报研究所(上海200030) 摘要按照原料的不同介绍了六氟丁二烯的制备方法和提纯工艺，并且展望了工业化规模制备六氟丁二烯的发 展前景。 关键词六氟丁二烯制备提纯 中图分类号0621．3 成为饱和氟碳类蚀刻气的最佳替代品，具有较好的 0前言 市场发展前景。 六氟丁二烯(HFBD)又名全氟丁二烯，分子式为 1 六氟丁二烯制备工艺 C。F6，是一种含有2个双键的全氟化合物，最初用于 全氟化弹性体的制备与交联，最近则作为蚀刻气用 目前已经报道的六氟丁二烯的制备工艺较多， 于半导体产品的等离子介质刻蚀。与传统使用的全 依据不同的起始原料对各类制备工艺进行分类，主 要包括以下5种。 氟饱和氟碳类蚀刻气体CF4、c：F6、C，F。、c—c正。和 NR相比，六氟丁二烯具有更高的蚀刻选择性、精确 1．1 性和纵横比，可以蚀刻小于100nm甚至更窄的电子 该工艺一般为1，2一二氟二氯乙烯先在一定条 线路。此外，六氟丁二烯在大气中的寿命小于2d，全 件下生成中间产物1，2，3，4一四氯一l，1，2，3，4，4 球变暖潜能值(GwP)仅为290，同比经典的蚀刻气一六氟丁烷，然后再脱氯制备六氟丁二烯。 C，F8和c—c。F8，六氟丁二烯在蚀刻过程中所排放的 CwP分别降低了80％和82％，且其分子中不含氯，乙烯为原料合成六氟丁二烯的路线，主要分为两步， 从而对地球大气的臭氧层呈现惰性。因为六氟丁二 总体方程式见式(1)、(2)。 烯具有较小的温室效应和对臭氧层的危害性，所以 第一步是氟化反应，低温(低于lo℃，最佳为 ‘ 。 ＼1(1)7 2clFc—cFCl二羔誓F2Cl—cFc卜cFcl—cF2c1 一75℃ 产率49％ cF2Cl弋Fcl_cFcl—cF2cl型旦￡幽墅cF：一c卜cF—cF2‘ ‘ 200℃ ‘ 。 (2) 产率64％ 一75℃)下1，2一二氟二氯乙烯与单质氟发生氟化二过低，副反应较多，不仅导致产物的总收率仅为 聚反应，生成中间产物1，2，3，4一四氯一30％～50％，也使得产物后续分离提纯困难，导致成 1，1，2，3，4，4一六氟丁烷；第二步是脱氯反应，本增加。此外，第一步合成反应只有在低温条件下才 能获得收率相对较高的目标中间体，很难进行工业 1，2，3，4一四氯一l，1，2，3，4，4一六氟丁烷在锌和丁 基卡必醇存在下进行脱氯反应得到六氟丁二烯。 放大。 该法不足之处是第一步合成所得中间体 1957年，陶氏公司【刈公开了l，2一二氟二氯乙 1，2，3，4一四氯一1，1，2，3，4，4一六氟丁烷的选择性烯热聚制备六氟丁二烯的路线，主要分为四步，总体 基金项目：上海市国际科技合作基金项目(1