原创力文档- 1、本文档共9页，可阅读全部内容。
- 2、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。
- 3、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击 这里二次下载。
- 4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
具有amp;quot;荷叶效应amp;quot;的硅基仿生表面的制备及其微摩擦性能.pdf
第8卷第4期 纳米技术与精密工程 V01．8No．4
2010年7月 and Jul． 2010
NanotechnologyPnci蓟叫Engineering
具有“荷叶效应的硅基仿生表面的制备及其微摩擦性能
范细秋1，赵晓栋1，张鸿海2
(1．浙江海洋学院机电工程学院，舟山316000；2．华中科技大学微系统中心，武汉430074)
electron
摘要：用扫描电子显微镜(scanningmicroscope。SEM)观测了荷叶表面的双微观结构，即特征尺度在10
岬左右的微米乳突和直径为50一100nlm的纳米蜡质晶体．提出了制备具有“荷叶效应”的硅基仿生表面的两种方
法。一是将表面制有特征尺度为100nm左右纳米结构的硅片进行硅烷化疏水处理，仅制作了纳米结构，部分模拟
了“荷叶效应”；另一种方法是将表面制有特征尺度为10p．m左右微米结构的硅片进行烷基烯酮二聚体(AKD)化
处理，该方法获得了具有双微观结构的仿生表面，比较完整地模拟了“荷叶效应”．微摩擦性能测试结果表明光滑硅
片微观摩擦系数为O．∞一O．10，而具有120
nm一25岬微结构的硅片微观摩擦系数为0．04一o．07；具有特征尺度
为200nnl线条阵列的粗糙区平均黏附力与光滑区平均黏附力之比为0．59．硅基仿生表面有利于降低摩擦系数和
electromechanical
减小黏附，“荷叶效应”对于微机电系统(micro system，MEMS)防黏减摩具有一定的潜在应用价
值．
关键词：微机电系统(MEMS)；荷叶效应；微摩擦
中图分类号：THll7．1文献标志码：A 文章编号：1672-6030(2010)04-0300-07
of
FabricationandMicro Performance
Tribological
withLotus
BionicSiliconSurfaces Effect
FAN
Xi．qiul，ZHAOXiac．don91，ZHANGHong．hai2 一
ofElectromechanical Ocean
(1．College EIlgineefing，ZhejiangUniversity，Zhoushan316000，China；
2．Instituteof ofScienceand
Micm-Systems，HuazhongUniversity Technology，Wuhan430074，China)
size
microstructureon10tus themicromastoidswithfeaturea-
Abstract：The
binary surface。including
round10 andnanowax withdiameterof nm．was
文档评论（0）