分层蒸镀制备聚酰亚胺自支撑膜及其特性研究.pdfVIP

! 第# 卷! 第$ 期 强 激 光 与 粒 子 束 %’( # ，)( $! ! *$$+ *$$+! 年$ 月 ,-., /0123 45623 5)7 /538-942 :25;6 0=( ， 文章编号：! $$?@** （*$$+ ）$+*A$+ 分层蒸镀制备聚酰亚胺自支撑膜及其特性研究! 戚同非，! 吴永刚，! 王! 勇，! 张! 莉，! 林小燕，! 田国勋，! 焦宏飞，! 陈玲燕 （同济大学波耳固体物理研究所，精密光学工程技术研究所，上海*$$$B* ） ! ! 摘! 要：! 采用分层蒸镀法，在玻璃基片上依次蒸镀二氨基二苯醚（075 ）和均苯四甲酸二酐（/;75 ）两种 单体，然后在空气环境中对样品进行不同温度和时间的热亚胺化处理，使二者在交界面上反应生成聚酰亚胺。 经加热+$ C D 然后经@+$ C * D 处理的样品，在脱膜后能制备出直径( A E，厚度为$$ FE 的聚酰亚胺自 支撑薄膜。用G8-3 测量了自支撑薄膜的红外光谱，特征吸收峰的分析表明薄膜已基本上完全亚胺化。用原子 力显微镜分析了浮法玻璃衬底上聚酰亚胺薄膜的表面形貌，结果表明以075 作为内层制备的膜层表面更光滑 平整。 ! ! 关键词：! 分层蒸镀；! 单体；! 聚酰亚胺；! 自支撑膜；! 表面形貌 ! ! 中图分类号：! 8)*??! ! ! ! 文献标识码：! 5 ! ! 极紫外及软H 射线滤光膜是短波长光学中重要的基本元件，尤其是近年来宇宙空间的探索对滤光膜的强 度、尺寸规格、厚度及均匀性等都提出了严格的要求［］，因此制备高质量的滤光薄膜对于短波长光学的发展具 ［* ］ 有重要意义 。 ! ! 聚合物薄膜韧性好，不易破裂，容易制备出大的尺寸，在实际应用中受到青睐。而聚酰亚胺（I’JKEKLM ）薄 膜以突出的介电、机械、耐辐射、耐燃性能以及超常的稳定性［@ ］，成为现代航天和航空工业、电气电子工业和尖 端科研各领域中不可缺少的优质材料［? ］。在已知的聚合物材料中，聚酰亚胺具有最好的力学特性，在电磁波 谱的软H 射线部分有很高的透射率［］，因此是优良的短波长滤光膜材料。 ! ! 制备聚酰亚胺薄膜的方法有很多，化学方法有旋涂法、4: （4NFOEPKQ:’LOM== ）法、自组装法（RM’SNRRMET’J ， 65 ）、液面沉降法等。物理方法主要是单体混合蒸镀法，即同时蒸镀形成聚酰亚胺薄膜所需的两种单体，然后 热处理使其亚胺化。通常认为两种单体的蒸发速率应严格控制在U 左右，才能获得高性能的聚酰亚胺薄 膜。和常规的方法完全不同，本文采用了简单的单体分层蒸镀方法，即在基片上按序先后蒸发两种单体，然后 通过热处理以使两种单体在界面处产生反应，形成聚酰亚胺薄膜，接着用脱膜的方法制备出自支撑的滤光膜。 ! 实验方法设计 ! ! 如图 所示，在基板上分层先后蒸镀单体二氨和二酐，然后用较低的热处理温度，使两层单体在交界处反 应生成聚酰胺酸（I’JNEK NKL ），再经过高温热处理使聚酰胺酸脱水而形成聚酰亚胺。由于两种单体的蒸发 温度较低，因此经过热处理后，表面上因超过比例而未能参与反应的单体会产生升华，从而留下纯聚酰亚胺膜。 ! ! 与混合蒸镀方法相比，分层蒸镀法具有两个显而易见的优点。首先，降低了单体蒸镀速率的控制要求；其 GKO( ! 6DMEN=K S RMVPMF=KN’ LMIRK=KF 图! 分层蒸镀原理示意图 ! 收稿日期：*$$+$@ ；! ! 修订日期：*$$+$W*@ 基金项目：国家AW@ 计划项目资助课题；国家自然科学基金资助课题（$+#W$* ） 作者简介：戚同非（BA@—），男，河南驻马店人，主要研究方向为软H 射线滤光薄膜。 联系作者：吴永刚，男，8M’( $*W+BA?@* ；2ENK’ ：JOXPY ENK’( =FOZK( MLP( F