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2015-09-02 发布于湖北
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双腔准分子激光器脉冲充电电源的研究.pdf

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双腔准分子激光器脉冲充电电源的研究.pdf

第37卷第1期激光技术 V01．37．No．1 2013年1月 LASERTECHNOLOGY January，2013 文章编号：1001—3806(2013)01—0097—04 双腔准分子激光器脉冲充电电源的研究赵家敏1，高健2，梁勖1，王效顺1，游利兵1，王庆胜1，余吟山1，方晓东h (1．中国科学院安徽光学精密机械研究所，合肥230031；2．合肥工业大学电子科学与应用物理学院，合肥230009) 摘要：为了满足工业用振荡一放大双腔结构的准分子激光器放电激励技术的要求，设计了高重频高精度的脉冲充电电源。该电源采用L(：谐振倍压的方式，同时为双腔准分子激光器的充电电容器进行充电，倍压比为1．87。通过对电源工作时序的调节，实现千赫兹高重频放电激励，在电源输出电压约为1300V时，充电电压精度为±0．18％。结果表明，通过充电电压精度控制单元，对充电电压反馈调节，可以实现充电电压的高精度。关键词：激光技术；充电电源；谐振；高重频；高精度；准分子激光中图分类号：TN248．2；TN245文献标识码：A on foradual-chamberexcimerlaser Studypulsechargepower ZHAO Jia．rain 1，GAOJian2，LIANGXul，WANGXiao—shunl，YOULi—bin91，WANGQi昭．shen91， YU Yin．shanl．FANG Xiao．don91 Instituteof andFine of 23003 ofElectronic (1．Anhui Optics Mechanics，ChineseAcademySciences，Hefei1，China；2．School of 230009，China) Science＆AppliedPhysics，HefeiUniversityTechnology，Hefei orderto the ofamasteroscillator laserfor Abstract：Insatisfyexcitingtechnique poweramplifier(MOPA)excimer industrial and was can the use，a powersimultaneouslycharge high·repetitionhigh—accuracypulsechargepowerdesigned．The for chamberexcimerlaserwithaLCresonantcircuitwitha ratioof the thedual voltage 1．87．Byregulating chargingcapacitors work can atkHzlevel the wasabout1300V，the schedule，thepowerdischarge frequency．Whenoutputvoltage voltageprecision was±0．18％．The canbecontrolledat the feedbac