456 半导体薄膜的热辐射和宽光谱.pdfVIP

第 卷第 期 兵 工 学 报 ! # -./ 0! +. 0 # 年 月 ! $ $ ! ! %’% %()%)*+’%(,, 123 0 !$$! !!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!! 456 半导体薄膜的热辐射及宽光谱 响应特性的研究 李建利 孙强 刘景和 李艳红 孙晶 张亮 （长春光学精密机械学院，吉林长春， ） #$$!! 李国栋 黄宗坦 黄承彩 李丹 黄江平 （昆明物理所） 摘要 本文就 为衬底的钇钡铜氧（分子式 ，简称 ）半导体薄膜的热辐 78 4 59 : 6 $ 0= 456 # ! ; ! ! 射及宽光谱响应特性进行了研究，发现这种半导体探测器响应波段不仅在红外波段，而且在亚毫米波段 甚至毫米波段都有良好的响应特性，该薄膜是继-6! 薄膜之后用于非制冷红外焦平面的一种新材料。 关键词 456 半导体薄膜；热辐射；宽光谱响应 中图分类号 ’+$ 0$== ?$ 年代中期，非制冷红外焦平面阵列的实用化 前配置了A(7N= 窗口材料，该材料在$ 0E O = H 波 ! ［］ # 段的透射率为 左右，覆盖了红外波段至部分亚 研究引人注目 。其优点是响应波段宽、工作寿命 ;$ @ 长、可靠性好、体积小、重量轻及可操作性好，性能优 毫米波段。选用黑体作为热辐射源，室温在 !?#A 时，黑体选 、 、 、 、 、 和 于制冷型红外焦平面。因此，该红外探测器在军品 $EA A K$A $A K$A =$$A 和民品中都将有广泛应用前景。 =;A 七个温度点，黑体辐射孔为 $ 0 KGH，探测器至 近年来国外456 半导体薄膜制备及应用研究 辐射孔的距离为!$GH，斩波频率为#!CD L 的发展速度很快。材料的电阻温度系数（ ）已达 ’( 到 # ，当 ， ， 时，响 0$! @ A ! B !?=A B # % # B $CD ! 应率 # ? #I ! # ； ， $ B #0E F #$ GHCD J ! B !?=A B ， 时，响应率 # K #I ! # %